[实用新型]一种FAB生产厂房

权利要求书

1.一种FAB生产厂房，其特征在于，包括从上至下依次设置的洁净生产层、洁净下夹层和下技术夹层，其中，所述下技术夹层中设有第一洁净生产区，所述第一洁净生产区位于所述洁净下夹层的下方、以形成上下双层洁净室。

2.根据权利要求1所述的FAB生产厂房，其特征在于，还包括贯穿所述洁净下夹层和所述下技术夹层、用于支撑所述洁净生产层的密集支撑柱；其中，位于所述第一洁净生产区内的所述密集支撑柱的间距为6m-12m。

3.根据权利要求2所述的FAB生产厂房，其特征在于，位于所述第一洁净生产区内的所述密集支撑柱的间距为9.6m。

4.根据权利要求2所述的FAB生产厂房，其特征在于，所述洁净生产层包括第二洁净生产区和第三洁净生产区，所述第二洁净生产区的防微振等级低于所述第三洁净生产区的防微振等级；所述第一洁净生产区位于所述第二洁净生产区的下方。

5.根据权利要求1所述的FAB生产厂房，其特征在于，所述第一洁净生产区下方采用下沉式高架地板。

6.根据权利要求1所述的FAB生产厂房，其特征在于，所述洁净生产层和洁净下夹层的两侧或一侧设有回风夹道。

7.根据权利要求1-6任一项所述的FAB生产厂房，其特征在于，还包括位于所述洁净下夹层的一侧或者两侧的边跨区域，其中，至少一侧的边跨区域中设有第四洁净生产区。

8.根据权利要求1-6任一项所述的FAB生产厂房，其特征在于，所述FAB生产厂房为12英寸集成电路生产厂房。