[实用新型]一种适用于黑硅挖孔的槽体

说明书

本实用新型公开了一种适用于黑硅挖孔的槽体，在原有结构基础上副槽增加了精密滤网，药液经滤网过滤后，能够去除废渣及副产物，确保药液的活性；主槽增加高速转子，能加速槽体内药液循环，从而提高药液寿命，快速搅拌使槽内药液更均匀，与硅片充分反应；同时增加温度计数量，可精准确定槽体药液温度，便于监控槽体内温度变化，防止电机空转。

技术领域

本实用新型涉及多晶黑硅制绒技术领域，特别涉及一种适用于黑硅挖孔的槽体。

背景技术

目前，在多晶黑硅制绒的工艺流程中，金属辅助湿法化学刻蚀的方法越来越被广泛地采用，采用金属辅助湿法化学腐蚀能在硅片表面制备出具有陷光效应的微纳复合结构。

现有湿法黑硅制绒方法主要为槽式制绒，其中挖孔槽作为实现黑硅工艺的关键槽体。由于化学品初配量过大，因而该槽体体积较大，通常该槽由主槽和副槽两部分组成。其中，化学品初配于副槽，水配于主槽中，主槽水位过高时，会流入副槽，副槽药液通过电机泵入主槽，进而实现主、副槽之间的药液循环。

但是，现有槽体结构的循环效果差，药液再利用率低，使用寿命低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种适用于黑硅挖孔的槽体，能加速槽体内药液循环，从而提高药液寿命。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种适用于黑硅挖孔的槽体，包括：连接构成药液循环回路的主槽和副槽，还包括：设置于所述主槽内，用于同药液配合的加速循环机构。

优选的，所述加速循环机构设置于所述主槽的入液口和/或溢流口。

优选的，所述加速循环机构设置于所述主槽的槽底。

优选的，所述加速循环机构为高速转子。

优选的，还包括：设置于所述副槽内的过滤机构，所述过滤机构位于所述副槽的回流口与出液口之间。

优选的，所述过滤机构为精密滤网。

优选的，所述过滤机构的材质与所述副槽的材质相同。

优选的，还包括：设置于所述主槽的多个温度计，多个所述温度计均通讯连接于所述槽体的控制系统。

优选的，多个所述温度计别设置于所述主槽的不同高度。

优选的，所述温度计的数量为三个，分别设置于所述主槽的上层、中层和下层。

从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供的适用于黑硅挖孔的槽体，其有益效果如下：

1.槽底增加高速转子，无篮(即槽内无硅片，硅片由花篮承载)时能快速搅拌，使槽内药液更均匀，与硅片充分反应；

2.增加温度计数量，可精准确定槽体药液温度，便于监控槽体内温度变化，防止电机空转；

3.能有效解决硅片因药液不均带来的，形成的小白点和竖状条纹等外观不良问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的适用于黑硅挖孔的槽体的结构示意图。

其中，1为温度计，2为主槽，3为配水管，4为连接管道，5为化学品配液管，6为排液启动阀，7为副槽，8为电机，9为废排管，10为加速循环机构，11为过滤机构。

具体实施方式