[实用新型]一种适用于黑硅挖孔的槽体有效
| 申请号： | 201921280257.1 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN211199474U | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 徐昆;付少剑;王立富;邵辉良;黄明;李超;孟少东 | 申请（专利权）人： | 江西展宇新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 陈志海 |
| 地址： | 334100 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 黑硅挖孔 | ||
【权利要求书】：
1.一种适用于黑硅挖孔的槽体，包括：连接构成药液循环回路的主槽(2)和副槽(7)，其特征在于，还包括：设置于所述主槽(2)内，用于同药液配合的加速循环机构(10)；
所述加速循环机构(10)设置于所述主槽(2)的槽底入液口，所述加速循环机构(10)为高速转子。
2.根据权利要求1所述的槽体，其特征在于，还包括：设置于所述副槽(7)内的过滤机构(11)，所述过滤机构(11)位于所述副槽(7)的回流口与出液口之间。
3.根据权利要求2所述的槽体，其特征在于，所述过滤机构(11)为精密滤网。
4.根据权利要求2所述的槽体，其特征在于，所述过滤机构(11)的材质与所述副槽(7)的材质相同。
5.根据权利要求1所述的槽体，其特征在于，还包括：设置于所述主槽(2)的多个温度计(1)，多个所述温度计(1)均通讯连接于所述槽体的控制系统。
6.根据权利要求5所述的槽体，其特征在于，多个所述温度计(1)分别设置于所述主槽(2)的不同高度。
7.根据权利要求5所述的槽体，其特征在于，所述温度计(1)的数量为三个，分别设置于所述主槽(2)的上层、中层和下层。
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