[实用新型]一种真空双面镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种真空双面镀膜机，属于真空镀膜领域，一种真空双面镀膜机，包括真空镀膜工作箱、双向承放装置、驱动辅助装置和安装在双向承放装置下方的镀膜装置，所述真空镀膜工作箱内还设有真空密封装置，所述真空密封装置包括前密封部件、后密封部件和水平密封部件，所述真空镀膜工作箱的前部设有箱门，所述前密封部件设置在真空镀膜工作箱的箱门的内侧壁上，所述后密封部件设置在真空镀膜工作箱内的背壁上，所述水平密封部件设置在双向承放装置之间。本实用新型省却了在二次镀膜时关机和开机的步骤，又节约了在二次镀膜时需要将整个第一容纳腔抽成真空的时间，变相的提高了镀膜的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其是涉及一种真空双面镀膜机。

背景技术

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或镀膜，使其在被涂覆的物体称基板、基片或基体上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

现有技术中的真空镀膜装置均为单面承载结构，只能实现单面的装载，单向的镀膜完成后，关闭机器，等整个装置冷却，将镀膜完成的晶体片取出，再进行装载未镀膜晶体片，因为在整个镀膜装置进行工作时，装置内必须是真空状态，这样再进行晶体片进行镀膜作业时，就需要重新将装置内抽成真空的状态，这样就多了开关机的步骤和重新抽真空的时间，降低了镀膜的工作效率，大大的影响了真空镀膜的工作进程。

因此，如何提供真空双面镀膜机，提高待镀膜晶体片的承载量和提高镀膜的工作效率已成为本领域技人员亟需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空双面镀膜机，以解决待镀膜晶体片的承载量和镀膜的工作效率的技术问题。

本实用新型提供的一种真空双面镀膜机，包括真空镀膜工作箱、安装在真空镀膜工作箱内的且用于对待镀膜的承载晶体进行两面装填承载作业的双向承放装置、设置在真空镀膜工作箱上的且用于驱动双向承放装置进行转动以及辅助作业的驱动辅助装置和安装在双向承放装置下方的镀膜装置，所述真空镀膜工作箱内还设有真空密封装置，所述真空密封装置包括前密封部件、后密封部件和水平密封部件，所述真空镀膜工作箱的前部设有箱门，所述前密封部件设置在真空镀膜工作箱的箱门的内侧壁上，所述后密封部件设置在真空镀膜工作箱内的背壁上，所述水平密封部件设置在双向承放装置之间。

进一步，所述真空镀膜工作箱的前部设有敞口向外的第一容纳腔，所述真空镀膜工作箱内的背壁上且位于后密封部件的下方设有散热窗，所述真空镀膜工作箱的箱门的边缘处均包设有耐高温的密封套。

进一步，所述双向承放装置包括连接主轴、两个锁定卡位套和两个承载部件，两个所述承载部件分别安装在连接主轴的两端，两个锁定卡位套分别套设在连接主轴的上下两端，每个所述锁定卡位套均通过螺栓固定在连接主轴上，每个锁定卡位套均与一个承载部件固定连接，每个所述承载部件包括呈伞型结构的容纳罩和若干沿着容纳罩的轴线均匀分布的且用于对待镀膜的晶片进行承放作业的容纳板，每个容纳板上均设有若干呈矩阵结构分布的容纳孔，所述连接主轴的端部与容纳罩的顶端固定连接。

进一步，所述驱动辅助装置包括旋转驱动部件、转动辅助部件和两个辅助承托部件，所述旋转驱动部件设置在真空镀膜工作箱的外侧壁上，所述转动辅助部件安装在真空镀膜工作箱内，所述转动辅助部件的一部分与旋转驱动部件传动连接，所述转动辅助部件的另一部分与连接主轴传动连接，在工作状态下，两个辅助承托部件的承托端与容纳罩的底部抵触连接。