[实用新型]一种真空双面镀膜机

权利要求书

1.一种真空双面镀膜机，其特征在于:包括真空镀膜工作箱（1）、安装在真空镀膜工作箱（1）内的且用于对待镀膜的承载晶体进行两面装填承载作业的双向承放装置（2）、设置在真空镀膜工作箱（1）上的且用于驱动双向承放装置（2）进行转动以及辅助作业的驱动辅助装置（3）和安装在双向承放装置（2）下方的镀膜装置（4），所述真空镀膜工作箱（1）内还设有真空密封装置（5），所述真空密封装置（5）包括前密封部件（501）、后密封部件（502）和水平密封部件（503），所述真空镀膜工作箱（1）的前部设有箱门（101），所述前密封部件（501）设置在真空镀膜工作箱（1）的箱门（101）的内侧壁上，所述后密封部件（502）设置在真空镀膜工作箱（1）内的背壁上，所述水平密封部件（503）设置在双向承放装置（2）之间。

2.根据权利要求1所述的一种真空双面镀膜机，其特征在于：所述真空镀膜工作箱（1）的前部设有敞口向外的第一容纳腔（102），所述真空镀膜工作箱（1）内的背壁上且位于后密封部件（502）的下方设有散热窗（103），所述真空镀膜工作箱（1）的箱门（101）的边缘处均包设有耐高温的密封套（104）。

3.根据权利要求1所述的一种真空双面镀膜机，其特征在于：所述双向承放装置（2）包括连接主轴（201）、两个锁定卡位套（202）和两个承载部件（203），两个所述承载部件（203）分别安装在连接主轴（201）的两端，两个锁定卡位套（202）分别套设在连接主轴（201）的上下两端，每个所述锁定卡位套（202）均通过螺栓固定在连接主轴（201）上，每个锁定卡位套（202）均与一个承载部件（203）固定连接，每个所述承载部件（203）包括呈伞型结构的容纳罩（204）和若干沿着容纳罩（204）的轴线均匀分布的且用于对待镀膜的晶片进行承放作业的容纳板（205），每个容纳板（205）上均设有若干呈矩阵结构分布的容纳孔（206），所述连接主轴（201）的端部与容纳罩（204）的顶端固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种真空双面镀膜机，其特征在于：所述驱动辅助装置（3）包括旋转驱动部件（301）、转动辅助部件（302）和两个辅助承托部件（303），所述旋转驱动部件（301）设置在真空镀膜工作箱（1）的外侧壁上，所述转动辅助部件（302）安装在真空镀膜工作箱（1）内，所述转动辅助部件（302）的一部分与旋转驱动部件（301）传动连接，所述转动辅助部件（302）的另一部分与连接主轴（201）传动连接，在工作状态下，两个辅助承托部件（303）的承托端与容纳罩（204）的底部抵触连接。

5.根据权利要求4所述的一种真空双面镀膜机，其特征在于：所述转动辅助部件（302）包括传动主杆（304）、两个传动副杆（305）和两个辅助转动板（306），两个辅助转动板（306）对称分布在真空镀膜工作箱（1）的内侧壁上，所述传动主杆（304）和两个传动副杆（305）均设置在两个辅助转动板（306）之间，所述传动主杆（304）设置在两个传动副杆（305）之间，所述传动主杆（304）的两端分别贯穿两个辅助转动板（306），且其中一端与真空镀膜工作箱（1）的内箱壁转动连接，另一端贯穿真空镀膜工作箱（1），每个传动副杆（305）的两端分别贯穿两个辅助转动板（306）且与真空镀膜工作箱（1）内的两内箱壁转动连接。

6.根据权利要求5所述的一种真空双面镀膜机，其特征在于：所述旋转驱动部件（301）包括驱动电机（307）、联动轴（308）、电机承托板（309）和两个三角支撑块（310），所述电机承托板（309）安装在真空镀膜工作箱（1）的箱体外，两个三角支撑块（310）设置在电机承托板（309）底部且与真空镀膜工作箱（1）的侧壁固定连接，所述驱动电机（307）的主轴与传动主杆（304）延伸出真空镀膜工作箱（1）外端部固定连接，所述联动轴（308）套设在驱动电机（307）主轴和传动主杆（304）的衔接处。