[实用新型]一种钟罩式气相化学沉积炉

说明书

本实用新型公开了一种钟罩式气相化学沉积炉，包括基座、钟罩沉积炉本体、水平螺纹柱和插销，所述基座上设置有钟罩沉积炉本体，所述水平螺纹柱贯穿调节窗，且水平螺纹柱上安装有紧固螺母，并且水平螺纹柱固定在操作板上，同时操作板与齿轮筒相互连接，所述齿轮筒上固定有连接杆，且连接杆与限位板相互连接，并且限位板上开设有通孔，所述插销贯穿通孔，且插销的底端固定有定位板，并且定位板的底端与底槽相互连接，且底槽开设在基座上端面。该钟罩式气相化学沉积炉，采用新型的结构设计，使得本装置可以对钟罩沉积炉本体进行限位固定，令钟罩沉积炉本体不会轻易晃动移位，且能与基座紧密贴合接触，避免由于接触不紧密造成的气密性不足。

技术领域

本实用新型涉及气相化学设备技术领域，具体为一种钟罩式气相化学沉积炉。

背景技术

钟罩式气相化学沉积炉是一种在气相化学实验过程中使用的设备，其作用是为气相化学沉积提供与外界环境隔绝的密闭空间，保证气相化学沉积可以正常运行，是一种较为常见的气相化学设备。

随着钟罩式气相化学沉积炉的不断使用，现有的钟罩式气相化学沉积炉钟罩的固定定位结构设计简单，无法对钟罩结构进行稳定的定位固定，导致钟罩结构密封性不佳。所以需要针对上述问题设计一种钟罩式气相化学沉积炉。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种钟罩式气相化学沉积炉，以解决上述背景技术中提出无法对钟罩结构进行稳定的定位固定，钟罩结构密封性不佳的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种钟罩式气相化学沉积炉，包括基座、钟罩沉积炉本体、水平螺纹柱和插销，所述基座上设置有钟罩沉积炉本体，且基座上固定有承接架和固定板，并且基座上安装有齿轮筒，同时固定板上开设有调节窗，所述水平螺纹柱贯穿调节窗，且水平螺纹柱上安装有紧固螺母，并且水平螺纹柱固定在操作板上，同时操作板与齿轮筒相互连接，所述齿轮筒上固定有连接杆，且连接杆与限位板相互连接，并且限位板上开设有通孔，所述插销贯穿通孔，且插销的底端固定有定位板，并且定位板的底端与底槽相互连接，且底槽开设在基座上端面。

优选的，所述承接架与连接杆均关于钟罩沉积炉本体对称分布，且承接架的材质为磁石，并且承接架顶部设置有半圆形凹陷结构，同时连接杆的材质为铁。

优选的，所述水平螺纹柱与调节窗为滑动连接，且水平螺纹柱与操作板为焊接连接，并且操作板与齿轮筒为啮合连接，同时齿轮筒通过其两侧安装的柱状轴与基座构成转动机构。

优选的，所述限位板与连接杆为焊接连接，且限位板的俯视旋转为半圆形，并且限位板内侧弧形边所在圆的内径与钟罩沉积炉本体的外径相同，同时限位板关于钟罩沉积炉本体对称分布。

优选的，所述插销与定位板为焊接连接，且插销与通孔为滑动连接，并且插销在限位板上对称分布。

优选的，所述定位板的侧视剖面为倒置的“L”字形，且定位板与底槽为卡合连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该钟罩式气相化学沉积炉，采用新型的结构设计，使得本装置可以对钟罩沉积炉本体进行限位固定，令钟罩沉积炉本体不会轻易晃动移位，且能与基座紧密贴合接触，避免由于接触不紧密造成的气密性不足；

1.固定板、齿轮筒、调节窗、水平螺纹柱、紧固螺母、操作板和连接杆相互配合工作，可以对装置中具有限位固定功能的结构进行稳定驱动，并能对相应结构的位置进行稳定的固定；

2.限位板、插销、定位板和底槽在被驱动结构触发工作后，可以将钟罩沉积炉本体定位固定，并且能将钟罩沉积炉本体和基座紧密连接在一起。

附图说明

图1为本实用新型限位板倾斜状态正视结构示意图；

图2为本实用新型限位板水平状态正视结构示意图；