[实用新型]一种钟罩式气相化学沉积炉

权利要求书

1.一种钟罩式气相化学沉积炉，包括基座（1）、钟罩沉积炉本体（2）、水平螺纹柱（7）和插销（13），其特征在于：所述基座（1）上设置有钟罩沉积炉本体（2），且基座（1）上固定有承接架（3）和固定板（4），并且基座（1）上安装有齿轮筒（5），同时固定板（4）上开设有调节窗（6），所述水平螺纹柱（7）贯穿调节窗（6），且水平螺纹柱（7）上安装有紧固螺母（8），并且水平螺纹柱（7）固定在操作板（9）上，同时操作板（9）与齿轮筒（5）相互连接，所述齿轮筒（5）上固定有连接杆（10），且连接杆（10）与限位板（11）相互连接，并且限位板（11）上开设有通孔（12），所述插销（13）贯穿通孔（12），且插销（13）的底端固定有定位板（14），并且定位板（14）的底端与底槽（15）相互连接，且底槽（15）开设在基座（1）上端面。

2.根据权利要求1所述的一种钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述承接架（3）与连接杆（10）均关于钟罩沉积炉本体（2）对称分布，且承接架（3）的材质为磁石，并且承接架（3）顶部设置有半圆形凹陷结构，同时连接杆（10）的材质为铁。

3.根据权利要求1所述的一种钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述水平螺纹柱（7）与调节窗（6）为滑动连接，且水平螺纹柱（7）与操作板（9）为焊接连接，并且操作板（9）与齿轮筒（5）为啮合连接，同时齿轮筒（5）通过其两侧安装的柱状轴与基座（1）构成转动机构。

4.根据权利要求1所述的一种钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述限位板（11）与连接杆（10）为焊接连接，且限位板（11）的俯视旋转为半圆形，并且限位板（11）内侧弧形边所在圆的内径与钟罩沉积炉本体（2）的外径相同，同时限位板（11）关于钟罩沉积炉本体（2）对称分布。

5.根据权利要求1所述的一种钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述插销（13）与定位板（14）为焊接连接，且插销（13）与通孔（12）为滑动连接，并且插销（13）在限位板（11）上对称分布。

6.根据权利要求1所述的一种钟罩式气相化学沉积炉，其特征在于：所述定位板（14）的侧视剖面为倒置的“L”字形，且定位板（14）与底槽（15）为卡合连接。