[实用新型]一种硅片清洗机有效

专利信息
申请号: 201921249231.0 申请日: 2019-08-05
公开(公告)号: CN210586132U 公开(公告)日: 2020-05-22
发明(设计)人: 韩建建 申请(专利权)人: 山西东明光伏科技有限公司
主分类号: B08B3/04 分类号: B08B3/04;B08B17/04;H01L21/67
代理公司: 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 代理人: 马金华
地址: 046021 山西省*** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 清洗
【权利要求书】:

1.一种硅片清洗机,其特征在于,包括清洗机机体(1)、储藏箱(2)、透明侧壁(3)、侧壁轨道(4)、机顶装置(5)、控制面板(6)、滑动拉柄(7)、通明薄膜(8)、通风洞口(9)、出水龙头(10)、水槽防尘盖(11)、背板(12),所述清洗机机体(1)下设置两个储藏箱(2),清洗机机体(1)上表面设置水槽,水槽上设置水槽防尘盖(11),水槽防尘盖(11)通过内置合页与清洗机机体(1)连接,所述清洗机机体(1)上表面两侧面设置透明侧壁(3),透明侧壁(3)上设置侧壁轨道(4),所述清洗机机体(1)通过背板(12)与机顶装置(5)连接,所述背板(12)上设置若干通风洞口(9),所述机顶装置(5)上设置控制面板(6),所述滑动拉柄(7)两端通过滑轮插入到侧壁轨道(4)内,滑动拉柄(7)与通明薄膜(8)连接,所述通明薄膜(8)卷为一卷,隐藏于机顶装置(5)内,所述清洗机机体(1)上设置三个出水龙头(10)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机,其特征在于,所述三个出水龙头(10)共有一个进水管道,所述水槽防尘盖(11)下的水槽共用一个下水管道。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机,其特征在于,所述通明薄膜(8)为高强度PVC薄膜,通明薄膜(8)能够隔绝硅片清洗机内外的空气流动。

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