[实用新型]用于腐蚀机台的喷淋系统

说明书

本实用新型提供一种用于腐蚀机台的喷淋系统，包括：压力罐、主喷头、辅助喷头，压力罐出口接主管道，主管道的终端接三通阀，通阀的两个出口分别接支管，两个支管与主喷头、辅助喷头连接，且主喷头、辅助喷头可在对应的支管内旋转，压力罐内存储有腐蚀液，腐蚀液顺着主管道、三通阀进入到两个支管内，并通过主喷头、辅助喷头进行喷液，提高喷液流量；且由于两个喷头采用球形喷嘴，能够轻易调节角度，以适应不同大小的掩膜版，用于调节腐蚀液在掩膜版面上的落点，用于弥补掩膜版中心与边缘所出现的腐蚀速率差的问题，提高了腐蚀液喷洒的均匀性，因此产品的线宽均匀性有很大的提高。

技术领域

本实用新型主要涉及喷淋领域，尤其涉及用于腐蚀机台的喷淋系统。

背景技术

现有腐蚀机台采用单喷头喷液，腐蚀液落到掩膜版面的分布不够均匀,且机台通过压力罐供液方式，单个喷头液体流量存在上限值，流量较低的情况下，工艺调控受到限制，掩膜产品线宽均匀性较差。

实用新型内容

本实用新型提供用于腐蚀机台的喷淋系统，包括：压力罐、主喷头、辅助喷头，压力罐出口接主管道，主管道的终端接三通阀，通阀的两个出口分别接支管，两个支管与主喷头、辅助喷头连接，且主喷头、辅助喷头可在对应的支管内旋转。

优选的，主喷头、辅助喷头采用球形喷嘴，实现角度调节。

优选的，主管道上还设置有流量控制阀，用于控制主管内的介质流量。

优选的，每个支管上开设喷管插孔，主喷头、辅助喷头的半球部分置入该插孔内。

优选的，喷管插孔向支管内延伸有限位结构，用于限制喷管插孔的旋转角度，该限位结构的内壁为弧状，与主喷头或辅助喷头的半球部分相切。

优选的，还包括喷管定位圈，该喷管定位圈固定在喷管插孔外，该喷管定位圈的内径小于主喷头或辅助喷头半球部分的外径，防止其脱落。

优选的，还包括O型圈，该O型圈垫在喷管定位圈与喷管插孔之间，提高密封性。

本实用新型的有益效果：压力罐内存储有腐蚀液，腐蚀液顺着主管道、三通阀进入到两个支管内，并通过主喷头、辅助喷头进行喷液，提高喷液流量；且由于两个喷头采用球形喷嘴，能够轻易调节角度，以适应不同大小的掩膜版，用于调节腐蚀液在掩膜版面上的落点，用于弥补掩膜版中心与边缘所出现的腐蚀速率差的问题，提高了腐蚀液喷洒的均匀性，因此产品的线宽均匀性有很大的提高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型关于喷管插孔的局部结构示意图；

图3为本实用新型关于图2的A-A剖视图；

图4为主喷头与喷管插孔之间的连接示意图；

1、压力罐；2、主喷头；3、辅助喷头；4、三通阀；5、主管道；

6、支管；7、喷管插孔；8、限位结构；9、喷管定位圈；10、流量控制阀。

具体实施方式

图1所示包括：压力罐、主喷头、辅助喷头，压力罐出口接主管道，主管道的终端接三通阀，通阀的两个出口分别接支管，两个支管与主喷头、辅助喷头连接，且主喷头、辅助喷头可在对应的支管内旋转。

图4所示，主喷头、辅助喷头采用球形喷嘴，实现角度调节。

优选的，主管道上还设置有流量控制阀，用于控制主管内的介质流量。

图2至图4所示，每个支管上开设喷管插孔，主喷头、辅助喷头的半球部分置入该插孔内。