[实用新型]具有高度梯度的微通道结构有效

专利信息
申请号: 201921224857.6 申请日: 2019-07-31
公开(公告)号: CN210668345U 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 刘鹏;车颜贤;陈雷 申请(专利权)人: 湖南昇微新材料有限公司
主分类号: H01L23/473 分类号: H01L23/473;H01L23/367;H05K7/20
代理公司: 长沙楚为知识产权代理事务所(普通合伙) 43217 代理人: 邓维
地址: 410000 湖南省长沙市岳麓*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 具有 高度 梯度 通道 结构
【权利要求书】:

1.一种具有高度梯度的微通道结构,其特征在于,包括:基板,所述基板内设有第一级通道、第二级通道、···、第N级通道,N≧3,

所述第二级通道包括从所述第一级通道分支出来的多个,所述第N级通道从第N-1级通道上分支出,所述第一级通道、···、第N级通道依次连接构成微通道,

所述微通道的高度由所述第一级通道至第N级通道按级以第一规定梯度减少。

2.如权利要求1所述的具有高度梯度的微通道结构,其特征在于,所述微通道的截面为矩形状,所述微通道的宽度由所述第一级通道至第N级通道按级以第二规定梯度减少。

3.如权利要求2所述的具有高度梯度的微通道结构,其特征在于,所述第一级通道、···、第N级通道的顶部平齐或底部平齐;或者,第二级通道位于第一级通道的高度方向的中间位置,第N级通道位于第N-1级通道的高度方向的中间位置。

4.如权利要求3所述的具有高度梯度的微通道结构,其特征在于,所述第一级通道设于所述基板的中心线上,多个所述第二级通道沿所述第一级通道的延伸方向等间距分布,且相邻的两所述第二级通道交替设于所述第一级通道的两侧。

5.如权利要求4所述的具有高度梯度的微通道结构,其特征在于,所述第二级通道相对于所述第一级通道倾斜延伸,且所有所述第二级通道的末端靠近所述第一级通道的同一端;位于第一级通道的同一侧的所有所述第二级通道相互平行。

6.如权利要求5所述的具有高度梯度的微通道结构,其特征在于,每一第N-1级通道上分支出一第N级通道;所述第N级通道相对于所述第N-1级通道倾斜延伸,所述第N级通道的末端背离所述第一级通道,且位于第一级通道的同一侧的所有第N级通道相互平行。

7.如权利要求6所述的具有高度梯度的微通道结构,其特征在于,所述第二级通道与第一级通道的夹角为60°~90°,所述第N级通道与第N-1级通道的夹角为60°~90°。

8.如权利要求7所述的具有高度梯度的微通道结构,其特征在于,所述第二级通道与第一级通道的夹角为60°,所述第N级通道与第N-1级通道的夹角为60°。

9.如权利要求7所述的具有高度梯度的微通道结构,其特征在于,所述第N级通道从所述第N-1级通道的延伸方向的二分之一位置处分支出。

10.如权利要求9所述的具有高度梯度的微通道结构,其特征在于,所述N=3,所述微通道的高度和宽度的范围为50微米~500微米。

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