[实用新型]一种篮具自动上料装置有效
| 申请号： | 201921219208.7 | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN210092051U | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王骏明;胡青青;陈鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡市瑞能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214233 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自动 装置 | ||
1.一种篮具自动上料装置，包括前后模组板（1）、前后导轨板（2）、三轴运动组件（3）、篮具翻转组件（4），其特征在于：所述三轴运动组件（3）安装在前后模组板（1）和前后导轨板（2）上，篮具翻转组件（4）安装在三轴运动组件（3）的执行端。
2.如权利要求1所述的一种篮具自动上料装置，其特征在于三轴运动组件（3）包括Y轴模组（5）、Y轴伺服电机（6）、Y轴导轨（7）、Y轴拖板（8）、Y轴拖板筋（9）、X轴模组（10）、X轴伺服电机（11）、X轴拖板（12）、X轴立板（13）、一对X轴拖板筋（14）、Z轴模组（15）、Z轴伺服电机（16）；Y轴模组（5）安装在前后模组板（1）上，Y轴伺服电机（6）安装在Y轴模组（5）尾端，Y轴导轨（7）安装在前后导轨板（2）上，Y轴拖板（8）安装在Y轴模组（5）和Y轴导轨（7）的执行端，Y轴拖板筋（9）安装在Y轴拖板（8）上，X轴模组（10）安装在Y轴拖板（8）下方，X轴伺服电机（11）安装在X轴模组（10）尾端，X轴拖板（12）安装在X轴模组（10）的执行端，X轴立板（13）安装在X轴拖板（12）上，一对X轴拖板筋（14）连接在X轴拖板（12）和X轴立板（13）之间，Z轴模组（15）安装在X轴立板（13）上，Z轴伺服电机（16）安装在Z轴模组（15）顶端。
3.如权利要求1所述的一种篮具自动上料装置，其特征在于篮具翻转组件（4）包括Z轴拖板（17）、一对Z轴拖板筋（18）、翻转气缸（19）、翻转拖板（20）、一对夹紧气缸（21）、一对夹紧板（22）、一对夹紧垫板（23）、三对定位柱（24）、一对定位板（25）；Z轴拖板（17）安装在Z轴模组（15）的执行端，一对Z轴拖板筋（18）安装在Z轴拖板（17）背面，翻转气缸（19）安装在Z轴拖板（17）上，翻转拖板（20）安装在翻转气缸（19）的执行端，一对夹紧气缸（21）分别安装在翻转拖板（20）的两端，一对夹紧板（22）分别安装在一对夹紧气缸（21）的执行端，一对夹紧垫板（23）分别安装在一对夹紧板（22）上，三对定位柱（24）分别安装在一对夹紧板（22）上，一对定位板（25）分别安装在翻转拖板（20）的两端。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
