[实用新型]一种大尺寸单晶圆棒切割装置有效
| 申请号： | 201921209042.0 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN210999502U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 匡文军;史彦龙;马洋;高润飞;谷守伟;徐强 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 单晶圆棒 切割 装置 | ||
1.一种大尺寸单晶圆棒切割装置，其特征在于：切割室内设有“井”字型金刚线，所述“井”字型金刚线设置在单晶圆棒一端并与所述单晶圆棒的端面平行。
2.根据权利要求1所述的大尺寸单晶圆棒切割装置，其特征在于：所述“井”字型金刚线包括前后排列的经线和纬线，所述经线两端分别连接经线槽轮，所述经线槽轮分别设置在所述切割室内壁的顶面和底面，所述纬线两端分别连接纬线槽轮，所述纬线槽轮分别设置在所述切割室内壁的左右两侧。
3.根据权利要求2所述的大尺寸单晶圆棒切割装置，其特征在于：所述经线和所述纬线均为两根。
4.根据权利要求2所述的大尺寸单晶圆棒切割装置，其特征在于：所述切割室内壁的四边均设有槽轮丝杠，所述经线槽轮和所述纬线槽轮固定在相应的槽轮丝杠上。
5.根据权利要求1-4中任一所述的大尺寸单晶圆棒切割装置，其特征在于：所述切割室内壁上设有边皮夹紧装置，能够固定切割所得的边皮。
6.根据权利要求5所述的大尺寸单晶圆棒切割装置，其特征在于：所述边皮夹紧装置包括四个，四个所述边皮夹紧装置分别对应所述单晶圆棒切割得到的四个边皮。
7.根据权利要求6所述的大尺寸单晶圆棒切割装置，其特征在于：每个所述边皮夹紧装置包括相对设置的两个气缸，所述气缸通过机械手连接在所述切割室内壁上。
8.根据权利要求5所述的大尺寸单晶圆棒切割装置，其特征在于：所述单晶圆棒前后两端均设有固定吸盘，所述固定吸盘通过吸盘丝杠连接在所述切割室前后端。
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