[实用新型]新型气缸

说明书

该实用新型涉及一种新型气缸，包括：缸筒；第一活塞，设置在所述缸筒内，能够相对于所述缸筒做往复运动，且所述第一活塞内部设置有凹槽，所述凹槽的长度方向与所述第一活塞的运动方向相同；第二活塞，设置于所述第一活塞的凹槽内部，能够相对于所述第一活塞做往复运动；震动检测器，安装至所述缸筒，用于检测所述第一活塞或第二活塞的异常震动。以上新型气缸具有震动检测器，能够通过检测所述第一活塞和第二活塞的震动情况，来实时监测整个新型气缸的异常震动情况，防止因气缸问题发生停机，产生晶圆报废风险，侧面提高晶圆产率。

技术领域

本实用新型涉及适用于晶圆生产的驱动设备领域，具体涉及一种新型气缸。

背景技术

随着技术的发展，集成电路工艺导线越来越窄，能耗越来越低，每一片的晶圆都极其宝贵。生产晶圆的设备中，有很多部件是由气缸组成的。气缸的性能直接影响晶圆生产效率及质量。在半导体设备中，气缸主要运用在阀门开关以及上下运动部件中，如果气缸有问题，发生抖动时，会导致阀门开关异常或者抖动，甚至有气缸内部气体泄漏到腔室风险，并且气缸的抖动也很有可能直接造成晶圆的破碎。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型气缸，能够实时监控气缸的工作状态，避免因气缸问题发生停机，产生晶圆报废风险，提高晶圆产率。

为解决上述技术问题，本实用新型中提供了一种新型气缸，包括缸筒；第一活塞，设置在所述缸筒内，能够相对于所述缸筒做往复运动，且所述第一活塞内部设置有凹槽，所述凹槽的长度方向与所述第一活塞的运动方向相同；第二活塞，设置于所述第一活塞的凹槽内部，能够相对于所述第一活塞做往复运动；震动检测器，安装至所述缸筒，用于检测所述第一活塞或第二活塞的异常震动。

可选的，还包括：控制器，连接至所述震动检测器，用于根据所述震动检测器检测到的异常震动，控制所述第一活塞或第二活塞做往复运动。

可选的，还包括：第一、二进气口，连通至所述第一活塞内的凹槽，用于驱动所述第二活塞相对于第一活塞做往复运动；第三、四进气口，连通至所述缸筒内部，用于驱动所述第一活塞相对于缸筒做往复运动。

可选的，还包括：电动阀，阀门设置到所述第一、二进气口、第三、四进气口，且所述电动阀连接至所述控制器，用于根据所述控制器的控制，控制所述阀门的开闭，从而控制所述第一、二进气口、第三、四进气口的进气情况。

可选的，所述控制器对所述第一活塞或第二活塞做往复运动的控制包括：控制所述第二活塞相对于所述第一活塞做往复运动；在所述震动检测器检测到异常震动时，控制所述第一活塞相对于所述缸筒做往复运动。

可选的，所述震动检测器设置在所述缸筒外壁。

可选的，被所述新型气缸驱动的件安装至所述第二活塞。

可选的，还包括：报警器，连接至所述震动检测器，用于在所述震动检测器检测到异常震动时发出警报。

可选的，所述震动检测器为音频收集器，通过收集所述缸筒的震动声音信息，来判断所述第一活塞或第二活塞是否发生异常震动。

以上新型气缸具有震动检测器，能够通过检测所述第一活塞和第二活塞的震动情况，来实时监测整个新型气缸的异常震动情况，防止因气缸问题发生停机，产生晶圆报废风险，侧面提高晶圆产率。并且所述新型气缸具有两个活塞，且第二活塞安装在所述第一活塞的凹槽内，且凹槽的长度方向与所述第一活塞的运动方向相同，因此，在具体使用中，控制两个活塞的运动都可以实现相同运动效果。这样，当具有相应的控制器时，就可以根据所述震动检测器检测到的第一活塞或第二活塞的震动情况，切换另一活塞进行运动，从而达到相同的驱动效果，不会由于一根活塞损坏，而导致要更换整个气缸。

附图说明

图1为本实用新型的一种具体实施方式中的新型气缸的结构示意图。