[实用新型]一种硅片清洗液循环系统

说明书

本实用新型公开了一种硅片清洗液循环系统，涉及硅片清洗技术领域，针对现有清洗液利用率不高的问题，现提出如下方案，其包括清洗箱，所述清洗箱底端设有出水管，所述出水管底端设有三通，所述出水管底端通过三通分别固定有第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀，所述第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀分别通过连管连接有第一循环箱、第二循环箱、滤水装置，滤水装置侧壁固定有净水箱，所述净水箱内设有抽水泵。本实用新型中，通过第一循环箱和第二循环箱等结构的设置，可以用第一循环箱内的清洗液对硅片进行预洗，第二循环箱内的清洗液对硅片进行精洗，完后第二循环箱内的清洗液可以抽送到第一循环箱中做预洗，节省了清洗液。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，尤其涉及一种硅片清洗液循环系统。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。

而现有硅片的清洗液利用率不高，且清洗液直接排放到下水道中，对环境造成污染，为此我们提出一种硅片清洗液循环系统，来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片清洗液循环系统。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种硅片清洗液循环系统，包括清洗箱，所述清洗箱底端设有出水管，所述出水管底端设有三通，所述出水管底端通过三通分别固定有第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀，所述第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀分别通过连管连接有第一循环箱、第二循环箱、滤水装置，滤水装置侧壁固定有净水箱，所述净水箱内设有抽水泵，所述净水箱上设有通向清洗箱的水管，所述第一循环箱内腔设有第一水泵，所述第二循环箱内设有第二水泵和第三水泵，所述第二水泵连接有通向第一循环箱的分液管，所述第一水泵、第三水泵均连接有通向清洗箱的输液管，所述第一循环箱底端设有第四电磁阀，所述第四电磁阀底端通过水管连接有废液箱，滤水装置底端设有第五电磁阀，所述第五电磁阀底端连接有通向废液箱的水管；

滤水装置包括滤水箱，滤水箱内设有电机，所述电机的输出轴端固定有凸轮，所述凸轮正面边缘处转动连接有连杆，所述连杆的另一端转动连接有活塞，所述滤水箱另一端设置有半透膜。

优选的，所述清洗箱上设有开关和控制器，开关和控制器构成一条回路，控制器为单片机，控制器与第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀、第五电磁阀、第一水泵、第二水泵、第三水泵、电机、抽水泵电性连接。

优选的，所述滤水箱顶端设有圆孔，第一电磁阀上连接的连管固定安装在圆孔处。

优选的，所述活塞与滤水箱内腔紧密贴合。

优选的，所述第五电磁阀安装于半透膜与活塞之间。

优选的，所述清洗箱底端设有出水孔，出水管安装在出水孔处，出水孔处设有防水塞。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型中：

1、通过第一循环箱和第二循环箱等结构的设置，可以用第一循环箱内的清洗液对硅片进行预洗，第二循环箱内的清洗液对硅片进行精洗，完后第二循环箱内的清洗液可以抽送到第一循环箱中做预洗，节省了清洗液。

2、通过废液箱和滤水装置等结构的设置，可以对冲洗的水进行过滤，可以对清洗液进行收集，并集中处理和回收利用，保护环境和节约资源，水资源可以重新利用，节约水资源。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种硅片清洗液循环系统的主视图。

图2为图1中A处的剖视图。