[实用新型]一种硅片清洗液循环系统

权利要求书

1.一种硅片清洗液循环系统，包括清洗箱(1)，其特征在于，所述清洗箱(1)底端设有出水管(2)，所述出水管(2)底端设有三通，所述出水管(2)底端通过三通分别固定有第一电磁阀(3)、第二电磁阀(4)、第三电磁阀(5)，所述第一电磁阀(3)、第二电磁阀(4)、第三电磁阀(5)分别通过连管连接有第一循环箱(6)、第二循环箱(7)、滤水装置，滤水装置侧壁固定有净水箱(8)，所述净水箱(8)内设有抽水泵，所述净水箱(8)上设有通向清洗箱(1)的水管，所述第一循环箱(6)内腔设有第一水泵(9)，所述第二循环箱(7)内设有第二水泵(10)和第三水泵(11)，所述第二水泵(10)连接有通向第一循环箱的分液管(12)，所述第一水泵(9)、第三水泵(11)均连接有通向清洗箱(1)的输液管(13)，所述第一循环箱(6)底端设有第四电磁阀(14)，所述第四电磁阀(14)底端通过水管连接有废液箱(15)，滤水装置底端设有第五电磁阀(16)，所述第五电磁阀(16)底端连接有通向废液箱(15)的水管；

滤水装置包括滤水箱(17)，滤水箱(17)内设有电机(18)，所述电机(18)的输出轴端固定有凸轮(19)，所述凸轮(19)正面边缘处转动连接有连杆(20)，所述连杆(20)的另一端转动连接有活塞(21)，所述滤水箱(17)另一端设置有半透膜(22)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗液循环系统，其特征在于，所述清洗箱(1)上设有开关和控制器，开关和控制器构成一条回路，控制器为单片机，控制器与第一电磁阀(3)、第二电磁阀(4)、第三电磁阀(5)、第四电磁阀(14)、第五电磁阀(16)、第一水泵(9)、第二水泵(10)、第三水泵(11)、电机(18)、抽水泵电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗液循环系统，其特征在于，所述滤水箱(17)顶端设有圆孔，第一电磁阀(3)上连接的连管固定安装在圆孔处。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗液循环系统，其特征在于，所述活塞(21)与滤水箱(17)内腔紧密贴合。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗液循环系统，其特征在于，所述第五电磁阀(16)安装于半透膜(22)与活塞(21)之间。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗液循环系统，其特征在于，所述清洗箱(1)底端设有出水孔，出水管(2)安装在出水孔处，出水孔处设有防水塞。