[实用新型]一种便于夹取的石英承载盘有效
申请号: | 201921207377.9 | 申请日: | 2019-07-29 |
公开(公告)号: | CN210778522U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 王光余 | 申请(专利权)人: | 无锡盈格科科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 黄冠华 |
地址: | 214000*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 便于 石英 承载 | ||
本实用新型公开了一种便于夹取的石英承载盘,包括承载盘、夹具、托盘、夹取装置、夹钳和导热块,所述承载盘中央位置设置有放置槽,所述放置槽底端设置有托盘,所述托盘底端设置有托杆,所述放置槽两侧对称设置有夹具,所述夹具包括滑槽、弹簧、卡条、凹槽、转轴、固定杆和缓冲垫,所述滑槽对称设置在放置槽两侧,所述滑槽中通过弹簧设置有卡条,所述卡条上设置有缓冲垫,所述滑槽上端设置有凹槽,所述凹槽中通过转轴设置有固定杆,所述放置槽一侧设置有夹取装置,所述夹钳作用于夹取装置上,所述导热块设置在放置槽底端。本新型能够方便夹取且能够对放置槽中物体进行固定,且具有良好散热效果,实用性强。
技术领域
本实用新型一种便于夹取的石英承载盘,属于承载设备技术领域。
背景技术
现有的石英承载盘大多都只是起到承载作用,并不能对承载盘上的物体进行有效固定,导致加工时容易出现意外,同时现有的承载盘不方便夹取,转移时容易出现意外,现设计一种便于夹取的石英承载盘来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种便于夹取的石英承载盘,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种便于夹取的石英承载盘,包括承载盘、夹具、托盘、夹取装置、夹钳和导热块,所述承载盘中央位置设置有放置槽,所述放置槽底端设置有托盘,所述托盘底端设置有托杆,所述放置槽两侧对称设置有夹具,所述夹具包括滑槽、弹簧、卡条、凹槽、转轴、固定杆和缓冲垫,所述滑槽对称设置在放置槽两侧,所述滑槽中通过弹簧设置有卡条,所述卡条上设置有缓冲垫,所述滑槽上端设置有凹槽,所述凹槽中通过转轴设置有固定杆,所述放置槽一侧设置有夹取装置,所述夹钳作用于夹取装置上,所述导热块设置在放置槽底端。
优选的,所述夹取装置包括安装槽、夹取杆、滑槽、弹簧、卡条和卡槽,所述安装槽设置在放置槽一侧,所述安装槽底端设置有弹簧,所述夹取杆设置在安装槽中,所述夹取杆上底端设置有滑槽,所述滑槽中通过弹簧设置有卡条,所述卡槽分别设置在安装槽一侧的上下端。
优选的,所述夹钳包括转轴、夹杆和夹持块,所述夹持块设置在夹杆前端,所述夹杆通过转轴安装在一起。
优选的,所述夹持块上设置有齿纹,所述夹持块顶端设置有顶杆。
优选的,所述夹持块的高度与夹取杆的高度相互契合,所述顶杆的长度与托杆的长度以及卡槽的深度相同。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型一种便于夹取的石英承载盘,通过设置的夹具能够对放置槽中的物品进行有效夹持,方便物品的加工处理,提高加工效率和质量。
本实用新型设置的夹取装置方便承载盘的夹取转移,设置的夹钳能够顶起托盘和释放夹取杆,能够保证承载盘的稳定转移。
本实用新型设置有散热块提高承载盘的散热性能,本实用新型结构简单,操作方便,实用性强。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的夹取装置示意图;
图3为本实用新型的夹钳示意图;
图中:1、承载盘;2、夹具;3、托盘;4、夹取装置;5、夹钳; 6、导热块;7、放置槽;8、托杆;9、滑槽;10、弹簧;11、卡条; 12、凹槽;13、转轴;14、固定杆;15、缓冲垫;16、夹取杆;17、卡槽;18、夹杆;19、夹持块;20、齿纹;21、顶杆;22、安装槽。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造