[实用新型]一种便于夹持的半导体晶盘片量测单元

权利要求书

1.一种便于夹持的半导体晶盘片量测单元，包括装置主体(1)，其特征在于：所述装置主体(1)内设有与外界相连通的空腔(10)，所述空腔(10)内设有夹持装置(2)，所述夹持装置(2)包括设置在所述空腔(10)底壁上的操作台(20)，所述操作台(20)上设有凸块(21)，所述凸块(21)的右侧面上设有矩形块(211)，所述矩形块(211)上紧密焊接有呈水平状设置的底部夹板(22)，所述底部夹板(22)的上方设有顶部夹板(23)，所述顶部夹板(23)的末端板体内设有两个相互对称的螺纹孔(231)；所述矩形块(211)上还设有夹持机构(24)，所述夹持机构(24)包括紧密焊接在所述矩形块(211)上的保护壳(241)，所述保护壳(241)内设有与外界相连通的凹槽(242)，所述凹槽(242)的顶壁上设有微型马达(243)，所述微型马达(243)的输出轴末端紧密焊接有第一丝杆(244)，所述第一丝杆(244)的一侧设有第二丝杆(245)，所述第一丝杆(244)以及所述第二丝杆(245)均穿过与之对应的所述螺纹孔(231)并与所述螺纹孔(231)之间螺纹连接，所述第二丝杆(245)的顶端紧密焊接有转轴(246)，所述转轴(246)与所述微型马达(243)的输出轴之间通过首尾相连的传送带(248)滑动连接，所述转轴(246)的顶端紧密焊接有第一轴承(249)，所述第一轴承(249)的外圈紧密焊接在所述凹槽(242)的顶壁上。

2.根据权利要求1所述的便于夹持的半导体晶盘片量测单元，其特征在于：所述空腔(10)的顶壁以及底壁上均紧密粘接有滑轨(11)。

3.根据权利要求2所述的便于夹持的半导体晶盘片量测单元，其特征在于：两个所述滑轨(11)的位置相互正对，两个所述滑轨(11)相邻的一侧面上均设有沿着滑轨(11)长度方向设置且与外界相连通的滑槽(111)。

4.根据权利要求3所述的便于夹持的半导体晶盘片量测单元，其特征在于：两个所述滑轨(11)之间设有两个相互对称的门板(12)，所述门板(12)位于所述滑槽(111)内并与所述滑槽(111)之间滑动连接。

5.根据权利要求1所述的便于夹持的半导体晶盘片量测单元，其特征在于：所述微型马达(243)的输出轴上以及所述转轴(246)上均紧密焊接有上下两个相互对称的凸盘(247)。

6.根据权利要求5所述的便于夹持的半导体晶盘片量测单元，其特征在于：所述传送带(248)位于上下设置的两个所述凸盘(247)之间。

7.根据权利要求1所述的便于夹持的半导体晶盘片量测单元，其特征在于：所述第一丝杆(244)以及所述第二丝杆(245)的底端杆体上均紧密焊接有第二轴承(3)，所述第二轴承(3)紧密焊接在所述矩形块(211)上。