[实用新型]一种芯片研磨时用吸取机构有效

专利信息
申请号: 201921175898.0 申请日: 2019-07-25
公开(公告)号: CN210434974U 公开(公告)日: 2020-05-01
发明(设计)人: 殷泽安;殷志鹏 申请(专利权)人: 苏州译品芯半导体有限公司
主分类号: B08B5/02 分类号: B08B5/02;B08B5/04;H01L21/304
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215143 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 研磨 吸取 机构
【权利要求书】:

1.一种芯片研磨时用吸取机构,其特征在于:包括从上到下依次安装的进风口(6)、行架(8)、吹风头(7)、工作台(3)、电机驱动结构、连接柱(2)和底板(1);

所述工作台(3)的上表面开有卡槽(4),所述卡槽(4)的侧面开有落料槽(5),且所述工作台(3)的底端固接有落料仓(12);所述落料仓(12)的底端固接有吸取口(13),且所述吸取口(13)与所述落料仓(12)内部相互连通;所述进风口(6)固接在所述行架(8)的顶端,所述吹风头(7)固接在所述行架(8)的底端,且所述进风口(6)与多个所述吹风头(7)相互连通;

所述电机驱动结构包括电机(9)、导向槽(10)、导向块(11)和轴承(16),所述导向槽(10)开设在所述工作台(3)的两侧侧面,所述导向块(11)卡合在所述导向槽(10)内部,且所述导向块(11)的一侧侧面开有螺纹孔(14);所述电机(9)固接在所述工作台(3)的一端端面,所述电机(9)的输出轴末端贯穿所述工作台(3)的端面,所述电机(9)的输出轴末端固接有螺纹杆(15),所述螺纹杆(15)的两端均通过所述轴承(16)与所述导向槽(10)的内侧壁转动连接,且所述螺纹杆(15)与所述螺纹孔(14)啮合连接。

2.根据权利要求1所述的一种芯片研磨时用吸取机构,其特征在于:所述行架(8)为U型结构,且所述行架(8)的底端侧面均固接有所述导向块(11)。

3.根据权利要求1所述的一种芯片研磨时用吸取机构,其特征在于:所述工作台(3)与所述底板(1)之间设有所述连接柱(2),且所述连接柱(2)的两端分别与所述工作台(3)下表面、所述底板(1)上表面固接。

4.根据权利要求1所述的一种芯片研磨时用吸取机构,其特征在于:所述导向块(11)为凸型结构,所述导向槽(10)为凹型结构,且两者滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种芯片研磨时用吸取机构,其特征在于:所述吹风头(7)等距离分布在所述行架(8)的下表面,且所述吹风头(7)与垂直面之间的夹角为三十度。

6.根据权利要求1所述的一种芯片研磨时用吸取机构,其特征在于:所述落料槽(5)底端为网状结构,且所述落料槽(5)与所述落料仓(12)内部相互连通。

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