[实用新型]曲面曝光装置

权利要求书

1.一种曲面曝光装置，包括支架、控制机构和载物机构，所述载物机构具有载物台以及驱动件，其特征在于，所述曲面曝光装置还包括设于所述支架上的光学投影机构，所述光学投影机构沿第一方向向所述载物台出射光，所述驱动件驱动所述载物台以垂直于所述第一方向的第一轴线翻转；

所述控制机构连接并控制所述驱动件，其包括：

获取单元，用于获取待曝光区域的表面形状信息；

路径控制单元，用于根据所述表面形状信息控制所述驱动件驱动所述载物台绕所述第一轴线翻转，使所述载物台最多只有部分位于所述光的出射路径上。

2.根据权利要求1所述的曲面曝光装置，其特征在于，所述驱动件驱动所述载物台绕平行于所述第一方向的第二轴线360°旋转。

3.根据权利要求2所述的曲面曝光装置，其特征在于，所述驱动件驱动所述载物台沿X轴、Y轴和Z轴中的至少其一运动，使所述载物台相对所述光学投影机构平移。

4.根据权利要求3所述的曲面曝光装置，其特征在于，所述控制机构包括控制所述载物台沿X轴运动的X轴运动控制件、控制所述载物台沿Y轴运动的Y轴运动控制件、控制所述载物台沿Z轴运动的Z轴运动控制件、控制所述载物台绕所述第一轴线翻转的第一轴线翻转控制件、以及控制所述载物台绕所述第二轴线旋转的第二轴线旋转控制件。

5.根据权利要求4所述的曲面曝光装置，其特征在于，所述载物台包括依序连接的基座、载臂和载具，所述基座在所述X轴运动控制件、所述Y轴运动控制件与所述Z轴运动控制件的控制下，分别对应地沿X轴、Y轴与Z轴往复运动，所述载臂设于所述基座的侧壁上，所述载具设于所述载臂远离所述基座的一端，所述载具在所述第一轴线翻转控制件的控制下绕所述第一轴线翻转，所述载具的端部具有凸台，所述凸台在所述第二轴线旋转控制件的控制下绕所述第二轴线旋转。

6.根据权利要求1所述的曲面曝光装置，其特征在于，所述控制机构连接并控制所述光学投影机构，所述光学投影机构发出平行光。

7.根据权利要求6所述的曲面曝光装置，其特征在于，所述光学投影机构包括光源、匀光器、数字微镜阵列、投射透镜和吸收平面，所述光源出射紫外光，所述紫外光经所述匀光器匀光后照射于所述数字微镜阵列上，所述数字微镜阵列具有多个数字微镜单元，所述控制机构根据所述表面形状信息控制所述数字微镜单元打开或关闭，打开的所述数字微镜控制单元将所述紫外光反射至所述投射透镜后，投射至所述载物台上形成光斑，关闭的所述数字微镜控制单元将所述紫外光反射至所述吸收平面，并被所述吸收平面吸收。

8.根据权利要求6所述的曲面曝光装置，其特征在于，所述光学投影机构包括点光源和凸透镜，所述点光源发出的光经所述凸透镜后成为所述平行光，所述平行光沿所述第一方向投射至所述载物台上。

9.根据权利要求1所述的曲面曝光装置，其特征在于，所述路径控制单元根据所述待曝光区域的表面形状信息制定所述载物台的运动路径，并控制所述驱动件驱动所述载物台沿所述运动路径运动，使所述待曝光区域依序落入所述光学投影机构的所述出射路径上且非曝光区域始终位于所述光学投影机构的所述出射路径之外。

10.根据权利要求1所述的曲面曝光装置，其特征在于，所述载物台为真空吸附平台。