[实用新型]一种硅片外观检测装置

权利要求书

1.一种硅片外观检测装置，包括机台(1)，机台(1)上设置有用于传送硅片(2)的输送机(3)，其特征在于，机台(1)上设置有位于输送机(3)上方的机架(7)，机架(7)上设置有往复移动机构(4)，往复移动机构(4)连接有位于硅片(2)上方的可吸附起硅片(2)的吸附抓手机构(5)，机台(1)上设置有相机(6)，吸附抓手机构(5)可移动到相机(6)正上方。

2.根据权利要求1所述的一种硅片外观检测装置，其特征在于，吸附抓手机构(5)包括与往复移动机构(4)连接的机械臂(5.1)，机械臂(5.1)连接有真空吸盘(5.2)，真空吸盘(5.2)连接有气管(5.3)，气管(5.3)连接有位于机台(1)内的电磁阀(5.4)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片外观检测装置，其特征在于，机械臂(5.1)包括与往复移动机构(4)连接的连接板(5.1.1)，连接板(5.1.1)上活动贯穿有调节杆(5.1.2)，真空吸盘(5.2)连接在调节杆(5.1.2)底部，调节杆(5.1.2)上从上到下开设有若干销钉孔(5.1.2.1)，调节杆(5.1.2)通过销钉固定在连接板(5.1.1)上。

4.根据权利要求3所述的一种硅片外观检测装置，其特征在于，往复移动机构(4)包括设置在机架(7)两内侧的支架(4.1)，支架(4.1)上均活动连接有滚轮(4.2)，其中一滚轮(4.2)连接有固定在机架(7)内侧的伺服电机(4.3)，两滚轮(4.2)之间绕设有同步带(4.4)，同步带(4.4)与连接板(5.1.1)连接，同步带(4.4)下方设置有连接在机架(7)内侧的导滑轨(4.5)，导滑轨(4.5)上可滑动地设置有滑块(4.6)，滑块(4.6)连接在连接板(5.1.1)底部。

5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的一种硅片外观检测装置，其特征在于，机架(7)顶部设置有防护罩(8)。