[实用新型]一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备

说明书

本实用新型公开了一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，包括：腔室，其顶端的内表面上固定焊接有一组平行的导轨；腔门，其与腔室可实现密闭相连，所述腔门外设置有凸起的容纳腔，所述凸起的容纳腔能够容纳腔室外部的导轨，所述腔门外的底端连接有支撑板；连接板，其一个面上设置有一组支撑杆，所述支撑杆上均设置有第一滚轮，所述第一滚轮与导轨相互卡合滚动连接；收卷辊和放卷辊，其对称且可转动连接在连接板和腔门上，所述连接板和腔门间可转动连接有镀膜辊，所述收卷辊、放卷辊和镀膜辊上连接有卷材。本实用新型的一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备具有操作简单，节省换靶时间，占用空间小的优点。

技术领域

本实用新型属于柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备领域，具体涉及一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备。

背景技术

磁控溅射是物理气相沉积法的一种，其原理是入射粒子和靶的碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程，和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程，在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来，整个过程易于控制，且效率也较高，运用较为广泛。

在目前的磁控溅射设备中，换靶是不可缺少的必要步骤，而常规的换靶方式，可以利用吊车进行换靶，但这种方法不仅占用空间、耗费的时间长，并且容易污染环境。针对以上问题，设计了一种腔室内导轨，配套使用滑块、手动葫芦，能够直接在设备区域直接完成换靶作业，占用空间小、用时短，且不污染环境。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，包括：

腔室，其顶端的内表面上固定焊接有一组平行的导轨，所述一组平行的导轨一端位于腔室内，另一端位于腔室外部；

腔门，其与腔室可实现密闭相连，所述腔门外表面的顶端平行设置有一组凸起的容纳腔，所述一组凸起的容纳腔能够容纳位于腔室外部的导轨，所述腔门外表面的底端固定连接有支撑板，所述支撑板与腔门外表面还通过两根倾斜杆固定焊接；

连接板，其一个面上竖直设置有两根支撑杆，所述两根支撑杆上均设置有第一滚轮，所述第一滚轮与一组平行的导轨相互卡合滚动连接；

收卷辊和放卷辊，其对称且可转动连接在连接板和腔门上，所述连接板和腔门间可转动连接有镀膜辊，所述收卷辊、放卷辊和镀膜辊上连接有卷材。

优选的是，所述一组平行的导轨等距对称分布在腔室顶端的内表面上。

优选的是，所述一组平行的导轨均包括：“工”字型导轨主体，其外部表面上可拆卸连接有U型外壳。

优选的是，所述第一滚轮与一组平行的导轨卡合滚动连接方式为：所述一组平行的导轨内设置的“工”字型导轨主体内均包含有一组内滑槽和一组外滑槽，所述第一滚轮分别卡合在内滑槽上，实现滚动连接。

优选的是，所述“工”字型导轨主体与U型外壳的可拆卸连接为：所述“工”字型导轨主体底端与U型外壳底端设置有相匹配的螺纹孔，两者通过螺钉连接。

优选的是，所述“工”字型导轨主体为高碳铬轴承钢导轨主体，所述U型外壳为304不锈钢U型外壳。

优选的是，所述一组凸起的容纳腔为对称分布的304不锈钢中空长方形容纳腔。

优选的是，所述支撑板的底端的四个角上设置有第二滚轮。

优选的是，所述收卷辊、放卷辊、镀膜辊与连接板和腔门的可转动连接方式为：通过轴承可转动连接。

本实用新型至少包括以下有益效果：