[实用新型]一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备

权利要求书

1.一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，包括：

腔室，其顶端的内表面上固定焊接有一组平行的导轨，所述一组平行的导轨一端位于腔室内，另一端位于腔室外部；

腔门，其与腔室可实现密闭相连，所述腔门外表面的顶端平行设置有一组凸起的容纳腔，所述一组凸起的容纳腔能够容纳位于腔室外部的导轨，所述腔门外表面的底端固定连接有支撑板，所述支撑板与腔门外表面还通过两根倾斜杆固定焊接；

连接板，其一个面上竖直设置有两根支撑杆，所述两根支撑杆上均设置有第一滚轮，所述第一滚轮与一组平行的导轨相互卡合滚动连接；

收卷辊和放卷辊，其对称且可转动连接在连接板和腔门上，所述连接板和腔门间可转动连接有镀膜辊，所述收卷辊、放卷辊和镀膜辊上连接有卷材。

2.如权利要求1所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，所述一组平行的导轨等距对称分布在腔室顶端的内表面上。

3.如权利要求2所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，所述一组平行的导轨均包括：“工”字型导轨主体，其外部表面上可拆卸连接有U型外壳。

4.如权利要求3所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，所述第一滚轮与一组平行的导轨卡合滚动连接方式为：所述一组平行的导轨内设置的“工”字型导轨主体内均包含有一组内滑槽和一组外滑槽，所述第一滚轮分别卡合在内滑槽上，实现滚动连接。

5.如权利要求3所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，所述“工”字型导轨主体与U型外壳的可拆卸连接为：所述“工”字型导轨主体底端与U型外壳底端设置有相匹配的螺纹孔，两者通过螺钉连接。

6.如权利要求3所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，所述“工”字型导轨主体为高碳铬轴承钢导轨主体，所述U型外壳为304不锈钢U型外壳。

7.如权利要求1所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，所述一组凸起的容纳腔为对称分布的304不锈钢中空长方形容纳腔。

8.如权利要求1所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，所述支撑板的底端的四个角上设置有第二滚轮。

9.如权利要求1所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，所述收卷辊、放卷辊、镀膜辊与连接板和腔门的可转动连接方式为：通过轴承可转动连接。