[实用新型]一种气相沉积炉用防尘防爆配电柜有效

专利信息
申请号: 201921150620.8 申请日: 2019-07-22
公开(公告)号: CN210430441U 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 张怡隆;李琳 申请(专利权)人: 扬州利家科技有限公司
主分类号: H02B1/28 分类号: H02B1/28;H02B1/56;B01D46/30
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 任娜娜
地址: 225600 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 沉积 防尘 防爆 配电柜
【权利要求书】:

1.一种气相沉积炉用防尘防爆配电柜,包括柜体(1),其特征在于:所述柜体(1)左端上下两侧对称安装有进气管(2),所述柜体(1)右端上下两侧对称安装有出气管(3),所述进气管(2)与出气管(3)外侧均旋接有管盖(4),所述进气管(2)与出气管(3)内部均横向安装有电机架(9),所述电机架(9)中心处安装有电机(10),所述电机(10)前侧安装有扇叶(11),所述进气管(2)和出气管(3)内圈开设有放置槽(12),所述放置槽(12)内放置有过滤架(14),所述过滤架(14)内安装有过滤棉(15),所述进气管(2)和出气管(3)内壁均开设有内螺纹(13),所述管盖(4)左端外壁开设有外螺纹(17),所述外螺纹(17)位于内螺纹(13)内旋转连接。

2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉用防尘防爆配电柜,其特征在于:所述管盖(4)外侧开设有穿孔(18)。

3.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉用防尘防爆配电柜,其特征在于:所述柜体(1)前侧两端对称安装有柜门(7),所述柜门(7)前侧安装有把手(8)。

4.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉用防尘防爆配电柜,其特征在于:所述柜体(1)底部四角安装有安装座(5),所述安装座(5)内纵向贯穿有安装螺栓(6)。

5.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉用防尘防爆配电柜,其特征在于:所述过滤架(14)外侧上下两端对称安装有拉手(16)。

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