[实用新型]一种便于安装的半导体铁晶舟有效
申请号: | 201921144103.X | 申请日: | 2019-07-21 |
公开(公告)号: | CN211507585U | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 闫文军;孙国标;杜良辉 | 申请(专利权)人: | 江苏壹度科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 便于 安装 半导体 铁晶舟 | ||
1.一种便于安装的半导体铁晶舟,包括装置主体(1)以及设置在所述装置主体(1)上的固定底座(10),其特征在于:所述固定底座(10)呈圆环状,所述固定底座(10)内设有凸块(11),所述凸块(11)与所述固定底座(10)的内壁之间紧密焊接有两个相互对称的第二固定板(13),其中一个所述第二固定板(13)上通过若干个紧固螺丝固定安装有支撑底座(131);所述凸块(11)与所述固定底座(10)的内壁之间还紧密焊接有两个相互对称的第三固定板(14),所述第三固定板(14)内设有沿着第三固定板(14)长度方向设置的滑槽(141),所述滑槽(141)的底壁上设有与外界相连通的矩形槽(142),所述第三固定板(14)上设有支撑装置(15),所述支撑装置(15)包括设置支撑块(151),所述支撑块(151)上设有矩形块(153),所述矩形块(153)位于所述矩形槽(142)内并与所述矩形槽(142)之间滑动连接,所述矩形块(153)上设有滑板(154),所述滑板(154)位于所述滑槽(141)内并与所述滑槽(141)之间滑动连接;所述凸块(11)与所述固定底座(10)的内壁之间还紧密焊接有两个相互对称的第一固定板(12);所述支撑底座(131)与所述支撑块(151)之间的夹角为120度;所述支撑底座(131)的截面呈几字形,所述支撑底座(131)内设有与外界相连通的第一凹槽(132);所述滑槽(141)的底壁上设有防滑层(1411);所述滑槽(141)的顶壁上设有若干个呈矩阵式排列且与外界相连通的螺纹孔(143),其中相互正对的两个所述螺纹孔(143)内螺纹连接有紧固螺丝(1431),所述紧固螺丝(1431)的末端抵在所述滑板(154)上。
2.根据权利要求1所述的便于安装的半导体铁晶舟,其特征在于:所述支撑块(151)的截面也呈几字形,所述支撑块(151)内设有与外界相连通的第二凹槽(152)。
3.根据权利要求1所述的便于安装的半导体铁晶舟,其特征在于:所述滑板(154)的表面设有防滑耐磨层(2),所述支撑块(151)的底面紧密粘接有防滑垫(3)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造