[实用新型]一种半导体芯片生产加工用切割出料装置有效
申请号: | 201921134617.7 | 申请日: | 2019-07-18 |
公开(公告)号: | CN210435451U | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 殷泽安;殷志鹏 | 申请(专利权)人: | 苏州译品芯半导体有限公司 |
主分类号: | B23D19/00 | 分类号: | B23D19/00;B23D33/02;B23D33/00;B23Q11/00;B21F11/00 |
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地址: | 215143 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 生产 工用 切割 装置 | ||
1.一种半导体芯片生产加工用切割出料装置,包括支撑脚(1),其特征在于:所述支撑脚(1)的上端固定连接有安装台(2),所述安装台(2)上转动安装有装夹台(4),所述装夹台(4)由第一驱动机构(3)驱动转动,装夹台(4)的上方设置有夹紧盘(21),所述夹紧盘(21)由气缸(18)驱动,所述安装台(2)上还设置安装有切割片(9),所述切割片(9)设置安装在滑动座(14)上,所述滑动座(14)由第二驱动机构(8)驱动移动,安装台(2)的上方转动设置安装有防护罩(15),所述防护罩(15)由电动推杆(22)控制开合,防护罩(15)中还设置安装有除尘机构(23)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产加工用切割出料装置,其特征在于:所述安装台(2)上固定安装有底座(5),所述装夹台(4)通过转轴转动安装在底座(5)上,所述第一驱动机构(3)包括从动齿轮(6)和主动齿轮(7),所述安装台(2)的下端面上设置安装有电机,从动齿轮(6)与装夹台(4)上连接的转轴的下端固定连接,所述主动齿轮(7)与电机的输出轴固定连接,主动齿轮(7)与从动齿轮(6)啮合安装。
3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产加工用切割出料装置,其特征在于:所述第二驱动机构(8)包括水平丝杠(11)和竖直丝杠(13),所述安装台(2)上固定安装有底板(10),所述底板(10)上滑动设置安装有安装座(12),所述水平丝杠(11)设置安装在底板(10)上,所述安装座(12)由水平丝杠(11)驱动,所述滑动座(14)滑动设置安装在安装座(12)上,所述竖直丝杠(13)设置安装在安装座(12)中,滑动座(14)由竖直丝杠(13)驱动。
4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产加工用切割出料装置,其特征在于:所述安装台(2)上固定安装有导管(19),所述气缸(18)的伸缩端滑动设置安装在导管(19)中,气缸(18)伸缩端的末端固定连接有连接杆(20),所述夹紧盘(21)转动连接在连接杆(20)的末端上。
5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产加工用切割出料装置,其特征在于:所述除尘机构(23)包括吸尘罩(16),所述吸尘罩(16)固定安装在防护罩(15)内侧壁的顶部,吸尘罩(16)上连接有吸尘管(17)。
6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产加工用切割出料装置,其特征在于:所述电动推杆(22)固定安装在左侧的支撑脚(1)上,电动推杆(22)伸缩端的末端与防护罩(15)滑动连接。
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