[实用新型]一种外延炉取片手装载监控系统

权利要求书

1.一种外延炉取片手装载监控系统，包括预抽真空室(3)、传送腔(9)、装载设备(5)、检测模块(19)和传送带(8)，其特征在于，所述预抽真空室(3)两侧设有传送腔(9)，所述装载设备(5)通过安装底板(10)安装于传送腔(9)内部，所述预抽真空室(3)内部间隔设有若干硅片(2)，所述传送带(8)设置于传送腔(9)内部且所述传送带(8)平行设置于装载设备(5)一侧，所述传送带(8)表面设有若干放置盒(7)，所述装载设备(5)包括驱动装置(13)，所述驱动装置(13)活动连接机械臂(14)，所述机械臂(14)顶端连接取片手(16)，所述检测模块(19)包括第一摄像头(1)、第二摄像头(15)、角度检测器(18)、长度传感器、重力传感器(17)和质量检测装置(4)，所述第一摄像头(1)设置于预抽真空室(3)内部入口端一侧，所述第二摄像头(15)设置于取片手(16)顶部一侧，所述角度检测器(18)设置于驱动装置(13)一侧，所述重力传感器(17)设置于述取片手(16)表面，所述质量检测装置(4)设置于传送腔(9)内壁且质量检测装置(4)位于放置盒(7)顶部，所述长度传感器设置于机械臂(14)。

2.根据权利要求1所述的一种外延炉取片手装载监控系统，其特征在于：所述检测模块(19)通过通信模块(20)网络连接微处理器(21)，所述微处理器(21)和驱动装置(13)的控制端电连接，所述微处理器(21)和报警模块(22)电连接，所述报警模块(22)为声光报警器，所述声光报警器安装于安装底板(10)上，所述微处理器(21)分别和输出接口(23)和显示装置(24)电连接，所述微处理器(21)为32位单片机。

3.根据权利要求1所述的一种外延炉取片手装载监控系统，其特征在于：所述检测模块(19)还包括检测基板(12)，所述检测基板(12)设置于预抽真空室(3)内壁且检测基板(12)靠近于硅片(2)一侧，所述检测基板(12)上设有若干检测器(11)，所述检测器(11)包括硅片间距测量检测器、位移传感器和计数器。

4.根据权利要求1所述的一种外延炉取片手装载监控系统，其特征在于：所述预抽真空室(3)底部设有升降台(6)，所述升降台(6)和硅片(2)位于同一轴线。

5.根据权利要求1所述的一种外延炉取片手装载监控系统，其特征在于：所述传送腔(9)设置数目至少为两个，两个所述传送腔(9)的设置高度不同。