[实用新型]氮化物的制造设备有效
| 申请号： | 201921111286.5 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN210368000U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 乔焜;高明哲;林岳明 | 申请（专利权）人： | 上海玺唐半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B7/10 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 201613 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化物 制造 设备 | ||
1.一种氮化物的制造设备，其包括反应容器(1)、第一管路(21)、第二管路(22)和真空泵(3)，其特征在于，
所述反应容器(1)的外周设有第一加热器(51)，
所述第一管路(21)连接到反应容器(1)，所述第一管路(21)用于向所述反应容器(1)注入反应溶剂，
所述第二管路(22)将所述真空泵(3)连接到所述第一管路(21)，
所述第一管路(21)和/或所述第二管路(22)的外周设有第二加热器(52)。
2.根据权利要求1所述的氮化物的制造设备，其特征在于，所述第二加热器(52)螺旋缠绕地包围在所述第一管路(21)和所述第二管路(22)的外周。
3.根据权利要求1所述的氮化物的制造设备，其特征在于，所述第二加热器(52)的加热温度至少能够达到110℃。
4.根据权利要求1所述的氮化物的制造设备，其特征在于，所述制造设备还包括第三管路(23)和脱氧剂(6)，
所述脱氧剂(6)设置在所述第三管路(23)的路径中，
所述第三管路(23)的两端分别连接到所述第一管路(21)，
所述第三管路(23)比所述第二管路(22)更靠近所述反应容器(1)。
5.根据权利要求4所述的氮化物的制造设备，其特征在于，所述脱氧剂(6)容纳于脱氧剂存放容器中，所述第三管路(23)具有连接到所述脱氧剂存放容器的接口。
6.根据权利要求5所述的氮化物的制造设备，其特征在于，所述第三管路(23)和所述脱氧剂存放容器通过螺纹连接。
7.根据权利要求4所述的氮化物的制造设备，其特征在于，所述第三管路(23)的外周也设有所述第二加热器(52)。
8.根据权利要求4所述的氮化物的制造设备，其特征在于，在位于所述第三管路(23)上游的所述第一管路(21)的路径中设有第一阀(41)，
在所述第二管路(22)的路径中设有第二阀(42)，
在所述第一管路(21)的与所述第三管路(23)相连的两个节点之间的路径中设置第三阀(43)，
在位于所述脱氧剂(6)的上游和下游的所述第三管路(23)的路径中分别设有第四阀(44)和第五阀(45)，
在所述第一管路(21)的与所述第二管路(22)的连接节点下游的路径中设有第六阀(46)。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的氮化物的制造设备，其特征在于，所述氮化物为氮化镓晶体。
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