[实用新型]管路连接结构及具有其的半导体生产设备

说明书

本公开涉及半导体储存器技术领域，提出了一种管路连接结构及具有其的半导体生产设备，管路连接结构包括：连接管路，连接管路的一端用于连接排出反应气体的气体排出口，连接管路的另一端用于连接接收反应气体的气体接收口；阀门，阀门设置在连接管路上；过滤件，过滤件设置在连接管路上，且与阀门间隔设置。本公开的管路连接结构在对阀门与连接管路之间的密封性出现问题时，可以仅拆卸二者之间的管路即可进行二次密封，而不用对过滤件进行拆除。相应的，当过滤件的过滤性出现问题时，也可以仅对过滤件进行拆除更换，整个更换的效率较高。

技术领域

本公开涉及半导体储存器技术领域，尤其涉及一种管路连接结构及具有其的半导体生产设备。

背景技术

在半导体储存器技术领域，扩散炉管设备是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。在具体使用过程中，主要过程包括：

Vaporizer(蒸发器)，利用高温以及超大接触面积，实现Precursor(反应物)由液态转化成为气态；Gas line filter(气体管路过滤件)，利用管道过滤件将气态Precursor中的杂质去除，以达到减少流程中产生Particle(杂质)的问题。

针对，Gas line filter将气态precursor中的杂质去除，现有的设计是将两个Filter按顺序安装到管路上，进行更换需要Filter(过滤件)前后管路拆除，工作量大。此外，管路以filter上部密封面密封，安装完成后若出现气密性问题需进行Filter更换(主要涉及与阀门的密封)。

实用新型内容

本公开的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一个缺陷，提供一种管路连接结构及具有其的半导体生产设备。

根据本实用新型的第一个方面，提供了一种管路连接结构，管路连接结构包括：连接管路，连接管路的一端用于连接排出反应气体的气体排出口，连接管路的另一端用于连接接收所述反应气体的气体接收口；阀门，阀门设置在连接管路上；过滤件，过滤件设置在连接管路上，且与阀门间隔设置。

在本实用新型的一个实施例中，过滤件设置在阀门与气体排出口之间，过滤件的至少部分可拆卸地设置在连接管路上。

在本实用新型的一个实施例中，过滤件包括：本体部，本体部设置在连接管路上，本体部具有容纳腔；滤芯部，滤芯部可拆卸地设置在容纳腔内。

在本实用新型的一个实施例中，本体部包括：管体，管体的管腔的至少部分为容纳腔；第一转接段，第一转接段设置在管体的一端；第二转接段，第二转接段设置在管体的另一端，第一转接段和第二转接段均与连接管路相连接；其中，第一转接段和第二转接段中的至少之一可拆卸地设置在管体上，以使滤芯部可从容纳腔内取出。

在本实用新型的一个实施例中，连接管路包括：第一管路段，第一管路段的两端分别连接气体排出口与第一转接段；第二管路段，第二管路段的两端分别连接第二转接段与阀门；其中，第一管路段与第一转接段可拆卸地相连接；和/或，第二管路段与第二转接段可拆卸地相连接。

在本实用新型的一个实施例中，管路连接结构还包括：第一连接组件，第一连接组件包括用于连接第一管路段和第一转接段的第一螺纹部，以及用于密封第一螺纹部与第一管路段的第一密封部，和/或，用于密封第一螺纹部与第一转接段的第二密封部；和/或，第二连接组件，第二连接组件包括用于连接第二管路段和第二转接段的第二螺纹部，以及用于密封第二螺纹部与第二管路段的第三密封部，和/或，用于密封第二螺纹部与第二转接段的第四密封部。

在本实用新型的一个实施例中，滤芯部包括：壳体，壳体可拆卸地设置在容纳腔内，壳体具有安装腔；过滤层，过滤层为多个，多个过滤层沿安装腔的延伸方向间隔设置。