[实用新型]管路连接结构及具有其的半导体生产设备

权利要求书

1.一种管路连接结构，其特征在于，所述管路连接结构包括：

连接管路，所述连接管路的一端用于连接排出反应气体的气体排出口，所述连接管路的另一端用于连接接收所述反应气体的气体接收口；

阀门，所述阀门设置在所述连接管路上；

过滤件，所述过滤件设置在所述连接管路上，且与所述阀门间隔设置。

2.根据权利要求1所述的管路连接结构，其特征在于，所述过滤件设置在所述阀门与所述气体排出口之间，所述过滤件的至少部分可拆卸地设置在所述连接管路上。

3.根据权利要求1所述的管路连接结构，其特征在于，所述过滤件包括：

本体部，所述本体部设置在所述连接管路上，所述本体部具有容纳腔；

滤芯部，所述滤芯部可拆卸地设置在所述容纳腔内。

4.根据权利要求3所述的管路连接结构，其特征在于，所述本体部包括：

管体，所述管体的管腔的至少部分为所述容纳腔；

第一转接段，所述第一转接段设置在所述管体的一端；

第二转接段，所述第二转接段设置在所述管体的另一端，所述第一转接段和所述第二转接段均与所述连接管路相连接；

其中，所述第一转接段和所述第二转接段中的至少之一可拆卸地设置在所述管体上，以使所述滤芯部可从所述容纳腔内取出。

5.根据权利要求4所述的管路连接结构，其特征在于，所述连接管路包括：

第一管路段，所述第一管路段的两端分别连接所述气体排出口与所述第一转接段；

第二管路段，所述第二管路段的两端分别连接所述第二转接段与所述阀门；

其中，所述第一管路段与所述第一转接段可拆卸地相连接；和/或，所述第二管路段与所述第二转接段可拆卸地相连接。

6.根据权利要求5所述的管路连接结构，其特征在于，所述管路连接结构还包括：

第一连接组件，所述第一连接组件包括用于连接所述第一管路段和所述第一转接段的第一螺纹部，以及用于密封所述第一螺纹部与所述第一管路段的第一密封部，和/或，用于密封所述第一螺纹部与第一转接段的第二密封部；和/或，

第二连接组件，所述第二连接组件包括用于连接所述第二管路段和所述第二转接段的第二螺纹部，以及用于密封所述第二螺纹部与所述第二管路段的第三密封部，和/或，用于密封所述第二螺纹部与所述第二转接段的第四密封部。

7.根据权利要求3所述的管路连接结构，其特征在于，所述滤芯部包括：

壳体，所述壳体可拆卸地设置在所述容纳腔内，所述壳体具有安装腔；

过滤层，所述过滤层为多个，多个所述过滤层沿所述安装腔的延伸方向间隔设置。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的管路连接结构，其特征在于，所述阀门设置在所述气体接收口与所述过滤件之间，所述连接管路包括：

第二管路段，所述第二管路段的两端分别连接所述过滤件与所述阀门；

第三管路段，所述第三管路段的两端分别连接所述气体接收口与所述阀门；

其中，所述第二管路段和所述第三管路段中的至少之一与所述阀门可拆卸地相连接。

9.根据权利要求8所述的管路连接结构，其特征在于，所述管路连接结构还包括：

第三连接组件，所述第三连接组件包括用于连接所述第二管路段和所述阀门的第一连接部，以及用于密封所述第一连接部与所述第二管路段的第五密封部，和/或，用于密封所述第一连接部与阀门的第六密封部；和/或，

第四连接组件，所述第四连接组件包括用于连接所述第三管路段和所述阀门的第二连接部，以及用于密封所述第二连接部与所述第三管路段的第七密封部，和/或，用于密封所述第二连接部与所述阀门的第八密封部。

10.一种半导体生产设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的管路连接结构、反应腔和气化装置，所述反应腔具有所述气体接收口，所述气化装置具有所述气体排出口，以使所述管路连接结构的两端分别连接所述反应腔和所述气化装置。