[实用新型]防接地装置及多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种防接地装置，其特征在于，包括：

电极部，所述电极部包括绝缘环和电极，所述电极包括上下排列的第一部分和第二部分，所述第二部分嵌套于底盘的安装孔内，所述第一部分伸出底盘的安装孔，所述绝缘环设置于所述电极和底盘之间，用于隔绝所述电极和底盘；

防护部，所述防护部覆盖于所述第一部分，所述防护部的一端连接于底盘，另一端开有第一通孔，用于使所述电极接触硅芯棒。

2.根据权利要求1所述的防接地装置，其特征在于，所述防护部呈中空状，所述防护部的一端开有第二通孔，所述第一部分位于所述第一通孔和所述第二通孔之间。

3.根据权利要求2所述的防接地装置，其特征在于，自所述第一通孔到所述第二通孔，所述防护部的侧面逐渐远离所述电极。

4.根据权利要求1所述的防接地装置，其特征在于，所述电极部还包括石墨管，所述石墨管的一端连接于所述第一部分，另一端穿过所述第一通孔，用于承载硅芯棒，所述防护部的另一端侧贴合于所述石墨管。

5.根据权利要求1所述的防接地装置，其特征在于，所述第一部分远离底盘的端侧设有凸缘，所述绝缘环顶接于所述凸缘。

6.根据权利要求3所述的防接地装置，其特征在于，所述防护部呈圆台形。

7.根据权利要求1至6任一项所述的防接地装置，其特征在于，所述防护部贴附于所述第一部分的周侧。

8.根据权利要求7所述的防接地装置，其特征在于，所述防护部的材质为氮化硅陶瓷。

9.一种多晶硅还原炉，其特征在于，包括：

炉体、多个安装孔和多个如权利要求1至8任一项所述的防接地装置，多个所述安装孔均布于所述炉体的底盘，每一个所述防接地装置安装于其中一个所述安装孔处。