[实用新型]一种半导体芯片研磨用清洁装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体芯片研磨用清洁装置，包括底座，所述底座上端面左侧设置有横向滑轨，所述横向滑轨上滑动设置有滑板，所述滑板上固定设置有竖板，所述竖板中间设置有安装板，所述安装板上端面右侧设置有喷水清洁装置，所述安装板底端面右侧安装有第一电机，所述第一电机输出端固定连接有研磨轮，所述横向滑轨左侧设置有驱动装置，结构简单，构造清晰易懂，能够实现研磨轮的水平运动和升降运动，对物料槽内的若干芯片进行研磨，实现多组芯片同步研磨作业，效率高，此外，研磨过程中，通过水泵对研磨面进行喷水清洁，并对研磨面进行降温，保证研磨质量和设备使用寿命，操作简单，值得推广。

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片生产设备技术领域，具体为一种半导体芯片研磨用清洁装置。

背景技术

半导体集成电路是将晶体管，二极管等等有源元件和电阻器，电容器等无源元件，按照一定的电路互联，“集成”在一块半导体单晶片上，从而完成特定的电路或者系统功能，半导体元件产品的统称为半导体芯片。传统的芯片在制造过程中需要对其进行研磨，用于厚度调节，传统的研磨设备是将单个的芯片表面进行直接研磨，生产效率极低，且在研磨过程中不对研磨面进行清洁，容易造成研磨面过热，影响研磨质量，降低设备使用寿命，且影响生产环境，因此，需要一种半导体芯片研磨用清洁装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体芯片研磨用清洁装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体芯片研磨用清洁装置，包括底座，所述底座上端面左侧设置有横向滑轨，所述横向滑轨上滑动设置有滑板，所述滑板上固定设置有竖板，所述竖板中间设置有安装板，所述安装板上端面右侧设置有喷水清洁装置，所述安装板底端面右侧安装有第一电机，所述第一电机输出端固定连接有研磨轮，所述横向滑轨左侧设置有驱动装置，所述横向滑轨右侧设置有转盘，所述转盘上设置有物料柱，所述底座右端面设置有电机腔。

优选的，所述驱动装置包括第一气缸，所述第一气缸输出端与滑板左端面固定连接。

优选的，所述竖板中间设置有竖槽，所述竖板上端面安装有第二气缸，所述竖槽设置有滑块，所述安装板穿设在滑块中间设置，所述第二气缸输出端与滑块上端面固定连接。

优选的，所述喷水清洁装置包括水泵，所述水泵在安装板上端面右侧安装，所述水泵输入端连接有进水软管，所述水泵输出端连接有喷水管。

优选的，所述物料柱四周侧壁设置有竖直卡条，所述竖直卡条中间设置有物料槽，所述物料槽内底部设置有顶出块，所述顶出块上方设置有若干芯片本体。

优选的，所述电机腔内安装有第二电机，所述第二电机输出端与转盘底端面转动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，构造清晰易懂，能够实现研磨轮的水平运动和升降运动，对物料槽内的若干芯片进行研磨，实现多组芯片同步研磨作业，效率高，此外，研磨过程中，通过水泵对研磨面进行喷水清洁，并对研磨面进行降温，保证研磨质量和设备使用寿命，操作简单，值得推广。

附图说明

图1为一种半导体芯片研磨用清洁装置的整体结构示意图；

图2为一种半导体芯片研磨用清洁装置的竖板结构示意图；

图3为一种半导体芯片研磨用清洁装置的物料柱俯视图部分结构示意图。

图中：1-底座，2-第一气缸，3-驱动装置，4-横向滑轨，5-滑板，6-竖板，7-安装板，8-进水软管，9-第二气缸，10-水泵，11-喷水清洁装置，12-喷水管，13-第一电机，14-研磨轮，15-芯片本体，16-物料柱，17-顶出块，18-转盘，19-第二电机，20-电机腔，21-竖槽，22-物料槽，23-滑块，24-竖直卡条。