[实用新型]一种结合微电子机械技术和铸造工艺的引流槽结构及设备有效
申请号: | 201921102520.8 | 申请日: | 2019-07-15 |
公开(公告)号: | CN210419226U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 夏伟锋;魏旭东 | 申请(专利权)人: | 上海迈铸半导体科技有限公司 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 沈建华;胡晶 |
地址: | 201821 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 结合 微电子 机械 技术 铸造 工艺 引流 结构 设备 | ||
1.一种结合微电子机械技术和铸造工艺的引流槽结构,其特征在于,包括喷嘴片和填充片,填充片上刻蚀有引流槽,引流槽与填充片上微腔结构的填充入口连通,喷嘴片上加工有一通孔,喷嘴片与填充片配合时,通孔与引流槽连通。
2.根据权利要求1所述的引流槽结构,其特征在于,引流槽包括一主槽和至少两个支槽,通孔与主槽连通,主槽分别与至少两个支槽连通,至少两个支槽与微腔结构的填充入口一一对应连通。
3.根据权利要求2所述的引流槽结构,其特征在于,主槽与支槽成90°垂直连通。
4.根据权利要求3所述的引流槽结构,其特征在于,主槽为线型主槽。
5.根据权利要求2所述的引流槽结构,其特征在于,全部支槽分布于主槽两侧或者一侧。
6.一种结合微电子机械技术和铸造工艺的引流槽结构,其特征在于,包括喷嘴片和填充片,喷嘴片上加工有一通孔,喷嘴片的上表面加工有一引流槽,引流槽与通孔连通,喷嘴片与填充片配合时,引流槽与填充片上微腔结构的填充入口连通。
7.根据权利要求6所述的引流槽结构,其特征在于,引流槽包括一主槽和至少两个支槽,通孔与主槽连通,主槽分别与至少两个支槽连通,至少两个支槽与微腔结构的填充入口一一对应连通。
8.根据权利要求7所述的引流槽结构,其特征在于,主槽为线型主槽,主槽与支槽成90°垂直连通。
9.一种结合微电子机械技术和铸造工艺的引流槽设备,其特征在于,包括权利要求1至权利要求8中任一项所述的引流槽结构。
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