[实用新型]一种传送机构

说明书

本实用新型公开了一种传送机构，整体安装在半导体自动化设备的工作台上，用于半导体半成品的传送，包括驱动机构；第二固定板和第三固定板，平行间隔设于工作台上；螺纹杆，两端设于所述第二固定板和第三固定板上；第一滑块，设于螺纹杆上并与之配合滑动；第四固定板，与所述螺纹杆平行，垂直设于工作台上；滑轨，设于所述第四固定板顶部；第二滑块，设于所述滑轨上并沿其滑动；连接件，设于所述第一滑块和第二划滑块之间；以及送料爪，设于所述第二滑块移动方向上的一端；其中，所述驱动机构与螺纹杆的一端连接。本实用新型提供了一种传送机构，由皮带、螺纹杆、第一滑块和第二滑块进行间接式传送，使得传动动作更加平稳，防止样品跌落损坏。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，尤其涉及一种半导体自动化设备中用于物料传递的传送机构。

背景技术

半导体自动化设备中，传送机构主要起着传递半导体半成品的等作用。原有传送机构由气缸以及送料爪等组成，半导体半成品置于送料爪上，并由气缸推动实现传递。然而，由于气缸与送料爪直接连接且整体悬空设置，在气缸启动或者停止的瞬间以及传送过程中，传动机构容易发生晃动，半导体半成品容易从传送机构上跌落，造成其损坏。

实用新型内容

本实用新型为克服现有技术存在的问题，提供一种传送机构，由皮带、螺纹杆、第一滑块和第二滑块进行间接式传送，使得传动动作更加平稳，防止样品跌落损坏。

本实用新型采用的技术方案是：

一种传送机构，整体安装在半导体自动化设备的工作台上，用于半导体半成品的传送，包括

驱动机构，设于工作台上；

第二固定板和第三固定板，平行间隔设于工作台上；

螺纹杆，两端设于所述第二固定板和第三固定板上；

第一滑块，设于螺纹杆上并与之配合滑动；

第四固定板，与所述螺纹杆平行，垂直设于工作台上；

滑轨，设于所述第四固定板顶部；

第二滑块，设于所述滑轨上并沿其滑动；

连接件，设于所述第一滑块和第二划滑块之间；以及

送料爪，设于所述第二滑块移动方向上的一端；

其中，所述驱动机构与螺纹杆的一端连接。

进一步地，所述驱动机构包括

第一固定板，与所述第二固定板平行，垂直设于工作台上；

主动轮和从动轮，设于所述第一固定板的同侧；以及

伺服电机，设于与主动轮相对的第一固定板另一侧；

其中，所述主动轮和从动轮表面安装有皮带，所述伺服电机与主动轮连接，所述螺纹杆与从动轮连接。

进一步地，所述第二滑块呈U形，增加两者接触面，提高滑动稳定性。

进一步地，所述滑轨长度反向的两侧开设滑槽，所述第二滑块内侧朝向滑槽的两侧分别成型配合的凸起，且凸起伸入到滑槽内，提高滑动稳定性。

进一步地，所述滑轨的长度大于第一滑动块的移动行程并与第四固定板的长度一致。

进一步地，所述第四固定板顶面沿其长度方向开设凹槽，便于滑轨固定，同时起到限制滑动的作用。

本实用新型的有益效果是：