[实用新型]一种传送机构有效
| 申请号： | 201921092662.0 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN209880571U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 刘明华;邹学彬 | 申请（专利权）人： | 成都尚明工业有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 51292 成都欣圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王海文 |
| 地址： | 610100 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固定板 螺纹杆 第二滑块 第一滑块 本实用新型 传送机构 驱动机构 滑动 滑轨 传送 半导体半成品 固定板顶部 自动化设备 平行间隔 一端连接 移动方向 整体安装 间接式 连接件 送料爪 传动 滑块 跌落 皮带 半导体 平行 垂直 配合 | ||
1.一种传送机构，整体安装在半导体自动化设备的工作台上，用于半导体半成品的传送，其特征在于：
驱动机构，设于工作台上；
第二固定板和第三固定板，平行间隔设于工作台上；
螺纹杆，两端设于所述第二固定板和第三固定板上；
第一滑块，设于螺纹杆上并与之配合滑动；
第四固定板，与所述螺纹杆平行，垂直设于工作台上；
滑轨，设于所述第四固定板顶部；
第二滑块，设于所述滑轨上并沿其滑动；
连接件，设于所述第一滑块和第二划滑块之间；以及
送料爪，设于所述第二滑块移动方向上的一端；
其中，所述驱动机构与螺纹杆的一端连接。
2.根据权利要求1所述的一种传送机构，其特征在于：所述驱动机构包括
第一固定板，与所述第二固定板平行，垂直设于工作台上；
主动轮和从动轮，设于所述第一固定板的同侧；以及
伺服电机，设于与主动轮相对的第一固定板另一侧；
其中，所述主动轮和从动轮表面安装有皮带，所述伺服电机与主动轮连接，所述螺纹杆与从动轮连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种传送机构，其特征在于：所述第二滑块呈U形。
4.根据权利要求3所述的一种传送机构，其特征在于：所述滑轨长度反向的两侧开设滑槽，所述第二滑块内侧朝向滑槽的两侧分别成型配合的凸起，且凸起伸入到滑槽内。
5.根据权利要求1所述的一种传送机构，其特征在于：所述滑轨的长度大于第一滑动块的移动行程并与第四固定板的长度一致。
6.根据权利要求1所述的一种传送机构，其特征在于：所述第四固定板顶面沿其长度方向开设凹槽。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
