[实用新型]一种半导体材料研磨设备

说明书

本实用新型涉及研磨设备技术领域，具体为一种半导体材料研磨设备，包括底座，所述底座的底部固定连接有支撑腿，所述底座的顶部固定连接有顶板，所述顶板的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴远离电机的一端固定连接有研磨头，所述顶板的底部固定连接有伸缩杆。该半导体材料研磨设备，通过设置喷水盒，且管道铺设于喷水盒的内部，且喷水盒的内壁固定连接有喷水头，使喷水盒内壁上的喷水头能够向固定架上所固定的材料进行喷水，致使该装置能够在研磨头对材料进行研磨的过程中，通过水来对研磨头和材料之间所产生的热量进行消除，有效的避免了材料因为受到高温而受损，从而有效的增强了该装置对材料的保护效果。

技术领域

本实用新型涉及研磨设备技术领域，具体为一种半导体材料研磨设备。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种，现有的半导体材料研磨设备使用不便，半导体材料是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间，电阻率约在1mΩ·cm～1GΩ·cm范围内)、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。

在半导体材料生产的时候，经常会需要对其进行研磨，在半导体材料研磨的时候，不仅需要对其各个面进行研磨，甚至还需要研磨片状的半导体材料的边角，在研磨的过程中研磨头和材料之间摩擦会产生加大的热量，而温度过高的话会影响材料的质量，因此需要改进。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体材料研磨设备，通过设置喷水盒盒固定臂，解决了上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种半导体材料研磨设备，包括底座，所述底座的底部固定连接有支撑腿，所述底座的顶部固定连接有顶板，所述顶板的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴远离电机的一端固定连接有研磨头，所述顶板的底部固定连接有伸缩杆；

所述底座的内部设置有空腔，所述底座的内部设置有加压泵，所述加压泵的输出端固定连接有管道，所述底座的顶部固定连接有喷水盒，所述喷水盒的内部开设有与管道相适配的槽；

所述喷水盒的内部固定连接有固定架，所述固定架的顶部设置有固定臂，所述固定臂的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部活动连接有滑臂，所述滑臂的内部开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有固定旋钮，所述固定旋钮的底部固定连接有转轴，所述转轴的外表面固定连接有固定环，所述固定环的底部固定连接有橡胶块；

所述底座的内部开设有固定槽，所述固定槽的内部固定连接有隔离框，所述隔离框盒底座的内部均开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有固定螺丝，所述隔离框通过固定螺丝固定连接于固定槽的内部。

可选的，所述支撑腿的数量为四个，且四个所述支撑腿分别固定连接与底座底部的四角处，所述支撑腿远离底座的一侧固定连接有防滑垫，且所述防滑垫的材质为橡胶。

可选的，所述电机的底部固定连接有固定块，所述固定块和顶板的内部均开设有第一螺丝孔，第一螺丝孔的内部螺纹连接有第一螺丝钉，所述电机通过第一螺丝钉固定连接于顶板的顶部。

可选的，所述伸缩杆为电动推杆，且所述伸缩杆与底座相邻的一端固定连接有连接板，所述连接板和底座的内部均开设有第二螺丝孔，所述第二螺丝孔的内部螺纹连接有第二螺丝钉，所述伸缩杆通过第二螺丝钉与底座固定连接。

可选的，所述管道铺设于喷水盒的内部，且所述管道远离加压泵的一端固定连接有喷水头，所述喷水头固定连接于喷水盒的内壁。