[实用新型]氮化物合成盛料盘及氮化物合成设备

说明书

一种氮化物合成盛料盘，其中所述盛料盘包括下底面和上表面，盛料盘具有一从上表面向下开设的凹形空间，还具有从上表面向下开设的多个凹槽。本实用新型还提供一种包含该盛料盘的氮化物合成设备。本实用新型的盛料盘通过开设凹槽以及形成的凹形空间，保证料盘内部的原料处于稳定的氮气气氛，提高渗氮效率。

技术领域

本实用新型涉及氮化物制备领域，进一步涉及一种氮化物合成盛料盘以及包含该盛料盘的氮化物合成设备。

背景技术

现有技术中，对于金属氮化物的合成设备，通常采用真空电阻炉，根据炉型的不同将发热体布置于炉墙倒壁(即侧加热炉)或炉膛上部(即上加热炉)。合成工艺是将合成原料(颗粒料、粉末料、预成形块料)放入炉内，关闭炉门，抽真空后补加氮气，送电升温再送氮合成，合成完毕后停电降温并经冷却出炉后，最后进行后续加工。这种设备所合成的氮化物含氮量均匀度不高，合成周期长，不能利用廉价气体能源。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种氮化物合成盛料盘及包含该盛料盘的氮化物合成设备，以至少部分解决上述的技术问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供一种氮化物合成盛料盘，其中：

所述盛料盘包括下底面和上表面，盛料盘具有一从上表面向下开设的凹形空间，还具有从上表面向下开设的多个凹槽。

在进一步的实施方案中，凹形空间的底部为圆形。

在进一步的实施方案中，凹形空间的侧面与底部连接处设置有弧形倒角。

在进一步的实施方案中，凹槽上具有弧形倒角。

在进一步的实施方案中，凹槽的开设高度15mm～35mm。

在进一步的实施方案中，盛料盘下底面为圆形，开设凹槽后的上表面呈对称缺口的环形。

在进一步的实施方案中，凹形空间的高度100mm～150mm。

在进一步的实施方案中，下底面与上表面平行。

根据本实用新型的另一方面，提供一种氮化物合成设备，包括坩埚，坩埚内放置多个所述氮化物合成盛料盘，多个盛料盘层叠放置，上部的盛料盘下底面与下部的盛料盘上表面接触，各凹形空间通过凹槽与外部连通。

(三)有益效果

本实用新型的盛料盘通过开设凹槽以及形成的凹形空间，各层料盘内部的原料处于稳定的氮气气氛，提高渗氮效率；

通过在凹形空间的侧面与底部连接处设置弧形倒角，防止高温加热或者迅速冷却时，盛料盘由于应力在连接处过于集中而开裂，也便于制备的氮化物取出；

通过在凹槽上设置弧形倒角，进一步防止盛料盘开裂。料盘上的凹槽也是料盘放入或从坩埚取出时吊钩的插入点。

附图说明

图1是本实用新型实施例的氮化物合成盛料盘应用场景示意图。

图2是图1中的氮化物合成盛料盘俯视图；

图3是沿图2中的半剖线A-B形成的主视半剖面示意图。

图4是另一种实施方式的氮化物合成盛料盘俯视图。

图5是利用图1所示设备进行氮化物合成的工艺流程图。

具体实施方式