[实用新型]氮化物合成盛料盘及氮化物合成设备

权利要求书

1.一种氮化物合成盛料盘，其中：

所述盛料盘包括下底面和上表面，盛料盘具有一从上表面向下开设的凹形空间，还具有从上表面向下开设的多个凹槽。

2.根据权利要求1所述的氮化物合成盛料盘，其中，所述凹形空间的底部为圆形。

3.根据权利要求2所述的氮化物合成盛料盘，其中，所述凹形空间呈倒圆台形，凹形空间的侧面与底部连接处设置有弧形倒角。

4.根据权利要求1所述的氮化物合成盛料盘，其中，所述凹槽绕所述盛料盘均匀分布，凹槽上具有弧形倒角。

5.根据权利要求1所述的氮化物合成盛料盘，其中，所述凹槽的开设高度为15mm～35mm。

6.根据权利要求1所述的氮化物合成盛料盘，其中，所述盛料盘下底面为圆形，开设凹槽后的上表面呈对称缺口的环形。

7.根据权利要求1所述的氮化物合成盛料盘，其中，所述凹形空间的高度为100mm～150mm。

8.根据权利要求1所述的氮化物合成盛料盘，其中，所述下底面与上表面平行。

9.一种氮化物合成设备，包括坩埚，坩埚内放置多个所述氮化物合成盛料盘，多个盛料盘层叠放置，上部的盛料盘下底面与下部的盛料盘上表面接触，各凹形空间通过凹槽与外部连通。