[实用新型]狭缝喷嘴及基板处理装置

权利要求书

1.一种狭缝喷嘴，其特征在于：在前端部具有狭缝状的吐出口，所述狭缝喷嘴包括：

第一本体部，沿所述吐出口的长度方向延伸设置；

第二本体部，以与所述第一本体部相向的方式配置而形成所述吐出口；

中央调整机构，在所述长度方向上的所述第二本体部的中央区域使所述第二本体部的前端部相对于所述第一本体部位移而调整在所述吐出口的中央区域的开口尺寸；以及

两端调整机构，在所述长度方向上的所述第二本体部的两端区域使所述第二本体部的前端部相对于所述第一本体部位移而调整在所述吐出口的两端区域的开口尺寸；并且

通过所述两端调整机构而使所述第二本体部的前端部位移的位移能力高于通过所述中央调整机构而使所述第二本体部的前端部位移的位移能力。

2.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于，

所述中央调整机构及所述两端调整机构均是设置成能够通过相对于所述第二本体部的调整螺钉的旋入量来调整所述第二本体部的前端部的位移量，

在所述吐出口的开口尺寸方向上，将所述第二本体部的两端区域精加工成薄于所述第二本体部的中央区域。

3.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于，

所述中央调整机构及所述两端调整机构均是设置成能够通过相对于所述第二本体部的调整螺钉的旋入量来调整所述第二本体部的前端部的位移量，

在所述第二本体部上，在所述两端区域与所述中央区域的边界上设置有切口。

4.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于，

所述中央调整机构及所述两端调整机构均是设置成能够通过相对于所述第二本体部的调整螺钉的旋入量来调整所述第二本体部的前端部的位移量，

所述第二本体部包括：中央相向构件，以与所述长度方向上的所述第一本体部的中央区域相向的方式而配置；第一端部相向构件，在所述长度方向上的一侧，以一边与所述中央相向构件邻接，一边与所述第一本体部的第一端部区域相向的方式而配置；以及第二端部相向构件，在所述长度方向上的另一侧，以一边与所述中央相向构件邻接，一边与所述第一本体部的第二端部区域相向的方式而配置；并且

所述第一端部相向构件、所述中央相向构件及所述第二端部相向构件是相互分离而配置。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的狭缝喷嘴，其特征在于，

所述中央调整机构及所述两端调整机构均包括沿从所述第二本体部的前端部向后端部的高度方向排列而将所述第二本体部与所述第一本体部加以紧固的多个螺钉，所述多个螺钉之中至少位于所述前端部侧的螺钉或位于所述后端部侧的螺钉作为所述调整螺钉而发挥功能。

6.一种基板处理装置，其特征在于，包括：

狭缝喷嘴，在前端部具有狭缝状的吐出口；

移动机构，一边使基板的表面与所述吐出口相向，一边使所述基板在与所述吐出口的长度方向正交的方向上相对移动；以及

处理液供给机构，对所述狭缝喷嘴供给处理液而使所述处理液从所述吐出口向所述基板的表面吐出；

所述狭缝喷嘴包括：

第一本体部，沿所述长度方向延伸设置；

第二本体部，以与所述第一本体部相向的方式配置而形成所述吐出口；

中央调整机构，在所述长度方向上的所述第二本体部的中央区域使所述第二本体部的前端部相对于所述第一本体部位移而调整在所述吐出口的中央区域的开口尺寸；以及

两端调整机构，在所述长度方向上的所述第二本体部的两端区域使所述第二本体部的前端部相对于所述第一本体部位移而调整在所述吐出口的两端区域的开口尺寸；并且

通过所述两端调整机构而使所述第二本体部的前端部位移的位移能力高于通过所述中央调整机构而使所述第二本体部的前端部位移的位移能力。