[实用新型]钻孔装置

权利要求书

1.一种钻孔装置，其特征在于，包括激光发射器、扩束器、第一二维偏转系统和冷却机构；

所述激光发射器用于发射激光；

所述扩束器和所述第一二维偏转系统沿所述激光光路设置，所述激光依次通过所述扩束器和所述第一二维偏转系统后聚焦出射至导管的待钻孔区域；

所述冷却机构包括泵送组件和抽出组件，所述泵送组件与所述导管的一端连通，所述抽出组件与所述导管的另一端连通；

还包括驱动装置，所述驱动装置用于安装导管，并驱动所述导管变换位置。

2.如权利要求1所述的钻孔装置，其特征在于，还包括分束器和第二二维偏转系统；

所述分束器设于所述扩束器和所述第一二维偏转系统之间，所述激光通过所述分束器后分成两束，其中一束激光出射至所述第一二维偏转系统，另一束激光出射至所述第二二维偏转系统。

3.如权利要求2所述的钻孔装置，其特征在于，还包括第一场镜和第二场镜，所述第一场镜设于所述第一二维偏转系统的出射激光光路上，所述第二场镜设于所述第二二维偏转系统的出射激光光路上。

4.如权利要求1所述的钻孔装置，其特征在于，所述冷却机构还包括流量调节阀，所述流量调节阀设于所述泵送组件和所述导管之间。