[实用新型]硅片手动上料夹具有效
| 申请号: | 201921046953.6 | 申请日: | 2019-07-06 |
| 公开(公告)号: | CN210429769U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
| 发明(设计)人: | 孙斌;陈昌中;陈程;浦锡伟;徐鑫鑫 | 申请(专利权)人: | 无锡华源晶电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 无锡嘉驰知识产权代理事务所(普通合伙) 32388 | 代理人: | 盛际丰 |
| 地址: | 214135 江苏省无锡市新吴区无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 硅片 手动 夹具 | ||
本实用新型提供了硅片手动上料夹具,包括工作台,所述工作台的顶端设置有第一安装板与第二安装板,所述第一安装板的顶端设置有第一工作载物台与第二工作载物台,所述第一工作载物台远离第二工作载物台的一侧设置有第一推杆,所述第一工作载物台的内腔设置有第一满载片蓝,所述第二工作载物台的内腔设置有第二满载片蓝,所述第二安装板的顶端设置有固定台与空载石英舟。本实用新型设置有叠片部分,整体结构下配有第一斜板来满足片蓝导向的一致性,同时第一、第二工作载物台具有0.5mm的高度落差,通过推杆可将两个背靠背放置的满载片蓝中的硅片由第一载物台导入第二载物台,从而实现第二载物台中的第二片蓝中每槽均为背靠背放置的硅片。
技术领域
本实用新型涉及硅片上料技术领域,具体是硅片手动上料夹具。
背景技术
随着科学技术的不断进步和人们对环保的重视,光伏产业的热门、兴盛给越来越多的制造企业带来了生机,目前光伏行业,新技术百花齐放,由常规太阳电池到现在的PERC电池, N型双面电池,MWT电池,HIT电池,IBC电池层出不穷,同时新型高效电池带来的投资也非常巨大,降成本增效一直是光伏行业不变的追求。
经调研,市场上的自动化设备均基于一台四轴或六轴机器人,同时完成装卸片产能大约在4000P/小时,价格平均100万/台,占地8㎡,单台功率5KW,消耗压缩空气3.5m3/h,1GW 规模电池生产线每小时产出大约3-3.2万片电池片,需要至少8台设备,按照平均价格100 万元计算,总价800万元,如果还有退火工艺或同时扩散硼和磷,就需要设备16台甚至32 台,每台机器需要1人操作,然而,现有技术虽由自动化机器实现装片,机器使用成本高、产量低、破片率高、稼动率低,需要养护成本。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供硅片手动上料夹具,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
硅片手动上料夹具,包括工作台,所述工作台的顶端设置有第一安装板与第二安装板,所述第一安装板的顶端设置有第一工作载物台与第二工作载物台,所述第一工作载物台远离第二工作载物台的一侧设置有第一推杆,所述第一工作载物台的内腔设置有第一满载片蓝,所述第二工作载物台的内腔设置有第二满载片蓝,所述第二安装板的顶端设置有固定台与空载石英舟,所述固定台远离空载石英舟的一侧设置有第二推杆,所述固定台的内腔设置有双片满载片蓝,所述固定台的底端设置有定位板,所述定位板的底端设置有间隔消除板,所述固定台与空载石英舟之间设置有第二固定架,所述第二固定架的内腔设置有第二导向槽板;所述第二固定架的底端设置有凸轮,所述空载石英舟远离固定台的一端设置有石英舟翻转杆。
作为本实用新型进一步的方案:所述第一工作载物台的侧壁设置有第一固定件,且第一固定件套接于第一推杆的表面,且第一第一推杆与第一固定件活动连接。
作为本实用新型进一步的方案:所述第一工作载物台与第二工作载物台之间设置有第一固定架,所述第一固定架的内腔设置有第一导向槽板。
作为本实用新型再进一步的方案:所述第一工作载物台比第二工作载物台高0.5mm,所述第一工作载物台的底部设置有第一斜板,且第一工作载物台通过第一斜板与第二工作载物台相连接,所述固定台的一侧底端设置有第二斜板,且固定台通过第二斜板与空载石英舟相连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型设置有叠片部分,整体结构下配有第一斜板来满足片蓝导向的一致性,同时第一、第二工作载物台具有0.5mm的高度落差,通过推杆可将两个背靠背放置的满载片蓝中的硅片由第一载物台导入第二载物台,从而实现第二载物台中的第二片蓝中每槽均为背靠背放置的需要进行扩散处理的硅片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





