[实用新型]硅片手动上料夹具

权利要求书

1.硅片手动上料夹具，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的顶端设置有第一安装板(2)与第二安装板(3)，所述第一安装板(2)的顶端设置有第一工作载物台(4)与第二工作载物台(5)，所述第一工作载物台(4)远离第二工作载物台(5)的一侧设置有第一推杆(6)，所述第一工作载物台(4)的内腔设置有第一满载片蓝(8)，所述第二工作载物台(5)的内腔设置有第二满载片蓝(9)，所述第二安装板(3)的顶端设置有固定台(12)与空载石英舟(15)，所述固定台(12)远离空载石英舟(15)的一侧设置有第二推杆(13)，所述固定台(12)的内腔设置有双片满载片蓝(16)，所述固定台(12)的底端设置有定位板(17)，所述定位板(17)的底端设置有间隔消除板(18)，所述固定台(12)与空载石英舟(15)之间设置有第二固定架(19)，所述第二固定架(19)的内腔设置有第二导向槽板(20)；所述第二固定架(19)的底端设置有凸轮(21)，所述空载石英舟(15)远离固定台(12)的一端设置有石英舟翻转杆(22)。

2.根据权利要求1所述的硅片手动上料夹具，其特征在于，所述第一工作载物台(4)的侧壁设置有第一固定件(7)，且第一固定件(7)套接于第一推杆(6)的表面，且第一第一推杆(6)与第一固定件(7)活动连接。

3.根据权利要求1所述的硅片手动上料夹具，其特征在于，所述第一工作载物台(4)与第二工作载物台(5)之间设置有第一固定架(10)，所述第一固定架(10)的内腔设置有第一导向槽板(11)。

4.根据权利要求1所述的硅片手动上料夹具，其特征在于，所述固定台(12)的侧壁设置有第二固定件(14)，且第二固定件(14)套接于第二推杆(13)的表面，且第二推杆(13)与第二固定件(14)活动连接。

5.根据权利要求1所述的硅片手动上料夹具，其特征在于，所述第一工作载物台(4)比第二工作载物台(5)高0.5mm，所述第一工作载物台(4)的底部设置有第一斜板(23)，且第一工作载物台(4)通过第一斜板(23)与第二工作载物台(5)相连接，所述固定台(12)的一侧底端设置有第二斜板，且固定台(12)通过第二斜板与空载石英舟(15)相连接。