[实用新型]一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台

说明书

本实用新型公开了一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，包括台架，所述电机输出轴的轴心与所述台架顶部中心点在同一条轴线上，所述连接轴位于台架顶部外侧的一端固定连接有卡盘座，所述卡盘座顶部中间位置通过螺栓固定连接有三爪自定心卡盘，所述台架正面右侧靠近台架顶部的位置设有电机控制器，所述电机控制器输入端与外设电源电性连接，所述台架顶部位于卡盘座外侧的位置螺栓连有弧形挡板；本实用新型通过电机带动设置于机架上方的卡盘座及设置在卡盘座上的的三爪自定心卡盘转动，三爪自定心卡盘定位法兰，管道置于法兰上，法兰和管道一起转动，台架顶部位于卡盘座外侧的位置焊接有弧形挡板，可以有效的解决背景技术中的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备领域，具体为一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台。

背景技术

半导体、液晶面板生产过程中使用的、或产生的气体，大多是具有毒性、腐蚀性及可燃性等特性的气体，能够对人类环境造成严重影响的气体。因此，在将这些气体排放到大气之前，必须经过净化处理。针对上述气体特性，对于半导体、液晶面板制程尾气处理设备中所使用的管道零部件的材质以及加工工艺提出了更高的要求。特别是焊接工艺，尤其体现在法兰与管道(包括管道与管道)的焊接上面。传统粗放型的焊接工艺中，将法兰置于固定平面上，管道放置于法兰上，继而进行焊接，焊接过程中焊接工人需要根据焊接部位的不同不断的调整焊接姿势和位置，操作过程冗繁，难以控制焊枪角度、焊枪与焊件的距离以及焊接速度，极易出现焊接裂纹、气孔、夹渣、未焊透、烧穿等质量缺陷。此类产品进入工业现场使用，极易出现渗漏、腐蚀透气等现象，极大危害现场和人员安全。而且焊接效率低下，劳动强度较大。同时焊接过程中焊渣容易溅射到工人的身上造成烫伤等问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的提供一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，通过电机带动设置于机架上方的卡盘座及设置在卡盘座上的的三爪自定心卡盘转动，三爪自定心卡盘定位法兰，管道置于法兰上，法兰和管道一起转动，台架顶部位于卡盘座外侧的位置焊接有弧形挡板，可以有效的解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，包括台架，所述台架内表面顶部中间偏右的位置焊接有电机固定支架，所述电机固定支架的左侧设有电机，所述电机输出轴的轴心与所述台架顶部中心点在同一条轴线上，所述电动机输出轴末端通过联轴器固定连接有连接轴，所述连接轴位于台架顶部外侧的一端固定连接有卡盘座，所述卡盘座顶部中间位置通过螺栓固定连接有三爪自定心卡盘，所述台架正面右侧靠近台架顶部的位置设有电机控制器，所述电机控制器输出端与电机电性连接，所述电机控制器输入端与外设电源电性连接，所述台架顶部位于卡盘座外侧的位置螺栓连有弧形挡板。

进一步的，所述弧形挡板左侧靠近台架正面和背面的对称位置设有腰座，所述腰座顶部设有腰形槽，腰形槽内表面与螺栓活动连接。

进一步的，所述台架顶部位于弧形挡板和卡盘座直接且靠近弧形挡板的位置开设有滑槽，所述滑槽内表面滑动连接有可移动挡板。

进一步的，所述弧形挡板的顶部通过紧定螺钉连接有限位块，所述限位块的内表面与可移动挡板滑动连接。

进一步的，所述限位块可拆卸。