[实用新型]一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台

权利要求书

1.一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，包括台架(1)，其特征在于：所述台架(1)内表面顶部中间偏右的位置焊接有电机固定支架(2)；所述电机固定支架(2)的左侧设有电机；所述电机输出轴的轴心与所述台架(1)顶部中心点在同一条轴线上；所述电机输出轴末端通过联轴器固定连接有连接轴；所述连接轴位于台架(1)顶部外侧的一端固定连接有卡盘座(3)；所述卡盘座(3)顶部中间位置通过螺栓固定连接有三爪自定心卡盘(4)；所述台架(1)正面右侧靠近台架(1)顶部的位置设有电机控制器(5)，所述电机控制器(5)输出端与电机电性连接，所述电机控制器(5)输入端与外设电源电性连接；所述台架(1)顶部位于卡盘座(3)外侧的位置螺栓连有弧形挡板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，其特征在于：所述弧形挡板(6)左侧靠近台架(1)正面和背面的对称位置设有腰座(10)，所述腰座(10)顶部设有腰形槽，腰形槽内表面与螺栓活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，其特征在于：所述台架(1)顶部位于弧形挡板(6)和卡盘座(3)直接且靠近弧形挡板(6)的位置开设有滑槽(7)，所述滑槽(7)内表面滑动连接有可移动挡板(8)。

4.根据权利要求3所述的一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，其特征在于：所述弧形挡板(6)的顶部通过紧定螺钉连接有限位块(9)；所述限位块(9)的内表面与可移动挡板(8)滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种便于半导体制程尾气处理设备中管道焊接的转台，其特征在于：所述限位块(9)可拆卸。