[实用新型]一种用于真空镀膜机的自转式工架机构有效

专利信息
申请号: 201921039088.2 申请日: 2019-07-05
公开(公告)号: CN210215534U 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 王越民;王焘骏 申请(专利权)人: 佛山王氏航空光学科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C16/458
代理公司: 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 代理人: 郭官厚
地址: 528225 广东省佛山市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 真空镀膜 自转 工架 机构
【说明书】:

一种用于真空镀膜机的自转式工架机构,自转齿轮机构包括有旋转缸,旋转缸的旋转轴穿过镀膜机本体,该旋转轴连接有曲柄摇杆机构,曲柄摇杆机构的另一端连接有导向滑块,导向滑块的下方活动连接有导向轨,导向滑块的上方固定连接有齿条,自转齿轮套设于挂架组件的底端,本实用新型的通过曲柄摇杆机构使齿条与自转齿轮相啮合,实现自转下轴旋转带动挂具180度翻身进行反面镀膜,并通过自转定位器使挂具达到准确翻身的目的;由于曲柄摇杆机构由旋转缸控制,能够使其选择性均匀地镀膜,实现在同一炉批次内自动翻面,避免开门翻身再抽真空升温需要消耗的时间和电能,有效节省时间和电能,并提高了双面镀膜效率,有效保障了双面镀膜的均匀性和一致性。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机的自转机构领域,更具体地说,尤其涉及一种用于真空镀膜机的自转式工架机构。

背景技术

传统的镀膜机转架都是简单的公转,只要启动转架的传动装置,转架在镀膜机内部就会不停的旋转,无法进行自转反面镀膜。

当产品需要两面镀膜的时候,镀好一面后需要停机开门,翻身重新关门抽真空升温再开镀,而开门翻身再抽真空升温要消耗时间和电能,为了节省时间和电能,通过改进,使其能够不开门自动翻身,从而节省了开门抽真空和升温的时间和电能。

实用新型内容

本实用新型针对上述缺点对现有技术进行改进,提供一种用于真空镀膜机的自转式工架机构,技术方案如下:

一种用于真空镀膜机的自转式工架机构,包括有镀膜机本体及设置于其内部中心的公转盘转动机构,所述镀膜机本体的内部呈中空结构,并形成镀膜炉腔,该镀膜炉腔的底端面与公转盘转动机构的底部之间设置有自转齿轮机构,其包括有旋转缸,所述旋转缸固定嵌设于镀膜机本体的外侧底端,其旋转轴穿过镀膜机本体并设置于镀膜炉腔的内部,所述旋转缸的旋转轴连接有曲柄摇杆机构,该曲柄摇杆机构的另一端连接有导向滑块,所述导向滑块的下方轴向活动连接有导向轨,该导向轨固定连接于镀膜机本体的内部底壁,所述导向滑块的上方固定连接有齿条,该齿条与自转齿轮相啮合,所述自转齿轮套设于挂架组件的底端,且该挂架组件于自转齿轮的上方均固定穿设有自转定位器,所述公转盘转动机构包括有行星齿轮机构,该行星齿轮机构的上方活动连接有挂架托盘,所述挂架托盘的外周边沿分别活动穿设挂架组件有若干组,且该挂架托盘设置于自转定位器和自转齿轮之间,所述镀膜机本体的内壁一侧连接有靶材。

所述挂架托盘的顶端面围绕通过公转支撑杆连接有公转上盘,所述挂架组件穿设于公转上盘与挂架托盘之间。

所述挂架组件包括有挂架及连接于挂架两端的自转下轴和定位上轴,该挂架的上方通过定位上轴活动穿设于公转上盘,该挂架的下方通过自转下轴从上到下依次穿设有自转定位器和与齿条相啮合的自转齿轮,使挂架进行限位自转,所述挂架与靶材相对应设置。

所述公转盘转动机构连接于镀膜机本体的内侧底部,其包括有固定连接镀膜机本体的底盘,所述底盘的上方均匀排列连接有第一支撑柱若干组,并通过第一支撑柱连接有不动大齿盘,该不动大齿盘的外周均匀围绕啮合有小齿轮若干组,使其形成行星齿轮机构,所述小齿轮的底部中心均通过延伸穿设于公转盘,顶端中心均延伸穿设于挂架托盘。

旋转缸旋转180度带动曲柄摇杆机构把运动由摇杆传递到滑块上,滑块上装有能够让自转齿轮旋转足够180度的齿条,在公转的同时,由于此齿条与自转齿轮相啮合,带动带有产品的挂具旋转实现了翻身,而齿轮的上端有自转定位器,该自转定位器为磨擦盘,此磨擦盘与自转下轴通过平键固定联接,在重力作用下压在自转齿轮的上表面,当轴的转角大于180度时,由销子限位,磨擦盘打滑从而达到准确翻身的目的,当翻完身后,旋转缸反转,滑块退回,挂架保持了不动,实现再镀另一面的目的,并且可以实现多次反复翻身镀膜的目的。

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