[实用新型]一种用于真空镀膜机的自转式工架机构

权利要求书

1.一种用于真空镀膜机的自转式工架机构，包括有镀膜机本体(1)及设置于其内部中心的公转盘(25)转动机构(2)，其特征在于：所述镀膜机本体(1)的内部呈中空结构，并形成镀膜炉腔(3)，该镀膜炉腔(3)的底端面与公转盘(25)转动机构(2)的底部之间设置有自转齿轮机构(4)，其包括有旋转缸(5)，所述旋转缸(5)固定嵌设于镀膜机本体(1)的外侧底端，其旋转轴穿过镀膜机本体(1)并设置于镀膜炉腔(3)的内部，所述旋转缸(5)的旋转轴连接有曲柄摇杆机构(6)，该曲柄摇杆机构(6)的另一端连接有导向滑块(7)，所述导向滑块(7)的下方轴向活动连接有导向轨(8)，该导向轨(8)固定连接于镀膜机本体(1)的内部底壁，所述导向滑块(7)的上方固定连接有齿条(9)，该齿条(9)与自转齿轮(10)相啮合，所述自转齿轮(10)套设于挂架组件(11)的底端，且该挂架组件(11)于自转齿轮(10)的上方均固定穿设有自转定位器(12)，所述公转盘(25)转动机构(2)包括有行星齿轮机构(13)，该行星齿轮机构(13)的上方活动连接有挂架托盘(14)，所述挂架托盘(14)的外周边沿分别活动穿设挂架组件(11)有若干组，且该挂架托盘(14)设置于自转定位器(12)和自转齿轮(10)之间，所述镀膜机本体(1)的内壁一侧连接有靶材(15)。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的自转式工架机构，其特征在于：所述挂架托盘(14)的顶端面围绕通过公转支撑杆(24)连接有公转上盘(16)，所述挂架组件(11)穿设于公转上盘(16)与挂架托盘(14)之间。

3.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的自转式工架机构，其特征在于：所述挂架组件(11)包括有挂架(17)及连接于挂架(17)两端的自转下轴(18)和定位上轴(19)，该挂架(17)的上方通过定位上轴(19)活动穿设于公转上盘(16)，该挂架(17)的下方通过自转下轴(18)从上到下依次穿设有自转定位器(12)和与齿条(9)相啮合的自转齿轮(10)，使挂架(17)进行限位自转，所述挂架(17)与靶材(15)相对应设置。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的自转式工架机构，其特征在于：所述公转盘(25)转动机构(2)连接于镀膜机本体(1)的内侧底部，其包括有固定连接镀膜机本体(1)的底盘(20)，所述底盘(20)的上方均匀排列连接有第一支撑柱(21)若干组，并通过第一支撑柱(21)连接有不动大齿盘(22)，该不动大齿盘(22)的外周均匀围绕啮合有小齿轮(23)若干组，使其形成行星齿轮机构(13)，所述小齿轮(23)的底部中心均通过延伸穿设于公转盘(25)，顶端中心均延伸穿设于挂架托盘(14)。