[实用新型]一种半导体片传送结构

说明书

本实用新型公开了一种半导体片传送结构，包括固定机架及安装在固定机架上的回转机架，回转机架上固定有一级从动组件以及与闭合式链条相连接的主、从动链轮机构，导向组件，导向条，闭合式链条上安装有负压吸附组件，负压吸附组件将单片半导体片吸附并回转运输至安装在一级从动组件的一级皮带上，将半导体片传输至下一机构。本实用新型通过这种传送结构，实现了自动将切割脱胶之后的半导体片由竖直转水平并输送至下一工序，提高了生产效率并减少了操作人员的劳动强度。

技术领域

本实用新型涉及一种刚性薄片的传送结构，尤其涉及一种针对半导体片传送的结构。

背景技术

半导体片在生产过程中，需要对切割脱胶之后的半导体片由立式放置转为平行放置并传送至下一工序。目前的操作是人工将切割脱胶之后的半导体片由立式放置转为平行放置传送至下一工序，这种操作方法生产效率低，并且增加工作人员的劳动强度。

发明内容

本实用新型的目的在于克服已有技术的缺点，提供一种可靠的并且可适用不同尺寸大小的半导体片的输送装置。

本实用新型的一种半导体片传送结构，包括固定机架，在所述的固定机架上安装有彼此左右平行间隔设置的回转机架，每一侧的所述的回转机架大致呈矩形，在每一侧的所述的回转机架的下部的前后两侧分别安装有一个从动链轮组件，在每一侧的所述的回转机架的上部的前后两侧分别安装有一个主动链轮组件和一个导向组件，在每一侧所述的回转机架相邻的两个转角之间的外侧分别固定有一个导向条，其中在左侧的回转机架上方的导向条上固定有泄压感应架，在所述的泄压感应架上安装有泄压感应器，在左侧的回转机架后侧的导向条的下部固定有吸附感应架，在所述的吸附感应架上安装有吸附感应器，所述的泄压感应器和吸附感应器为电感式感应器；

每一个所述的从动链轮组件均包括固定在回转机架上的从动链轮板，在所述的从动链轮板上沿水平方向固定有一个从动链轮轴，在所述的从动链轮轴上固定有一个设置在回转机架下部转角处的从动链轮；

每一个所述的导向组件均包括固定在回转机架后侧上部转角处的导向板，在所述的导向板上固定有一个沿链条的运动方向开有弧形槽的回转导向条，所述的回转导向条位于回转机架后侧上部转角处且两端分别与位于回转机架上方以及后侧的导向条相接设置；

每一个所述的主动链轮组件均包括固定在回转机架上的主动链轮板，在所述的主动链轮板上固定有主动轴承座，一根沿水平方向设置的主动回转轴穿过一个锁紧螺母和主动轴承座中的轴承设置，在所述的主动回转轴的外侧固定有一个主动回转带轮，所述的主动回转带轮与回转动力机构连接，在所述的主动回转轴的内侧固定有一个位于回转机架前侧上部转角处的主动链轮，所述的紧螺母将主动回转轴锁紧固定在主动轴承座上；

安装在每个回转机架位置处的两个从动链轮、一个主动链轮、导向条的直线滑槽以及回转导向条上的弧形槽均与一根闭合式链条相连，所述的两个从动链轮、一个主动链轮与链条啮合配合，所述的链条能够在导向条的直线滑槽以及回转导向条的弧形槽内顺畅滑动；

在左右两根链条之间安装有一个负压吸附机构，所述的负压吸附机构包括吸盘固定板，所述的吸盘固定板为金属材质，所述的吸盘固定板的左右两端分别沿固定在两根链条的内侧附件上，在所述的吸盘固定板的后壁上分别左右间隔固定有一个缓冲轴承，两根吸盘导向轴的后端分别穿过一个对应设置的缓冲轴承，在所述的两根吸盘导向轴的后端固定有吸盘安装板，所述的吸盘导向轴的前端固定有吸盘缓冲板，在所述的吸盘缓冲板与吸盘固定板之间的吸盘导向轴上套有缓冲弹簧；

在所述的吸盘安装板的中间固定有带缓冲吸盘的缓冲杆，所述的带缓冲吸盘的负压口直接与负压机连接；吸附状态下，所述的吸盘沿水平方向与待吸附的单片半导体相对设置且所述的吸盘固定板触发吸附感应器；

所述的吸盘缓冲板、吸盘固定板以及吸盘安装板彼此平行设置；所述的两根吸盘导向轴与吸盘固定板彼此垂直设置；