[实用新型]一种晶棒开方上料夹持装置有效
申请号: | 201921031413.0 | 申请日: | 2019-07-03 |
公开(公告)号: | CN210910672U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 解培玉;段景波;徐公志;王宝超;于秀升 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/04 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 张明利 |
地址: | 266000 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 开方 夹持 装置 | ||
本实用新型涉及一种晶棒开方上料夹持装置,属于晶硅加工技术领域,包括底座,所述底座上设有工作台和对中组件,所述工作台上设有支撑座、上料压紧组件以及驱动组件,支撑座用于支撑晶棒,上料压紧组件用于压紧位于支撑座上的晶棒的顶部,对中组件用于夹持位于支撑座上的晶棒的侧面,实现对中操作,驱动组件带动支撑座、上料压紧组件沿着底座上的导轨滑动,实现上料,本实用新型借助上料压紧组件可适应圆形、方形和菱形不同形状的晶棒夹持,省去了上下晶棒时的大量辅助时间,采用上下压紧的方式夹持住晶棒,夹持稳定,同时,借助对中组件提高对中精度,使晶棒长度方向平行于导轨方向,确保开方垂直度,借助驱动组件提高工作台横向移动精度。
技术领域
本实用新型属于晶硅加工技术领域,具体地说涉及一种晶棒开方上料夹持装置。
背景技术
制作太阳能电池板所用硅片的制造工序分为:拉晶、截断、开方、磨倒、切片等几个步骤。拉晶是在拉晶炉内通过化学沉积的方式生成圆柱体型的单晶硅棒,长度最大可达6米;截断是指把拉晶出来的单晶硅棒截成长度不等(100~700mm)的小段;开方是指把截断出的不同长度的单晶硅棒切成长方体型;磨倒是指用磨具把开方后长方体型的单晶硅棒的四个表面进行磨抛,以及四个棱边进行倒圆的过程。切片是指把磨倒后的长方体型的单晶硅棒切成0.15mm左右厚的硅片用于最后的太阳能电池板的制作。其中开方的过程是把圆柱型的单晶硅棒切成长方体型,则会产生四块形状不规则(截面呈弧形⌒)的余料(行业内称为边皮)。开方后的晶棒还需要进行四个棱角的切割,以便于节省磨床工位磨削棱角的时间。不同切割工艺需要切换不同的夹持方法,晶棒上下料时耗费大量辅助时间。
实用新型内容
针对现有技术的种种不足,为了解决上述问题,现提出一种晶棒开方上料夹持装置,可适应圆形、方形、棱形三种不同形状的晶棒夹持。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种晶棒开方上料夹持装置,包括底座,所述底座上设有工作台,所述工作台上设有:
支撑座,其用于支撑晶棒;
上料压紧组件,其位于支撑座上方,用于压紧位于支撑座上的晶棒的顶部;
驱动组件,所述底座上设有导轨,驱动组件带动支撑座、上料压紧组件沿着导轨滑动,实现上料;
对中组件,其跨设于工作台上方且与底座固连,用于夹持位于支撑座上的晶棒的侧面,实现对中操作。
优选地,所述上料压紧组件包括支撑架、上料气缸和上料压板,所述上料气缸沿着竖直方向设置,其缸体端通过支撑架与工作台连接,其活塞端与上料压板连接,所述上料压板沿着晶棒的长度方向设置。
优选地,所述上料压板的下方设有上料压块,且上料压块设为V型结构,且V型结构的开口正对晶棒。
优选地,所述支撑座上方设有与上料压块结构相同的支撑压块。
优选地,所述支撑架上沿着竖直方向设置有靠板,用于与晶棒的端面相抵。
优选地,所述对中组件包括对中支架、卡爪气缸和对中靠板,所述对中支架沿着竖直方向设置,其底部与底座固连,所述卡爪气缸沿着垂直于晶棒长度方向设置,其缸体端与对中支架固连,其活塞端与对中靠板连接,所述对中靠板沿着竖直方向设置。
优选地,所述卡爪气缸和对中靠板均设有对称的设有2个,且对中靠板与晶棒的切割面相贴。
优选地,所述对中组件沿着晶棒的长度方向至少设置1个。
优选地,所述驱动组件包括驱动电机、纵向间隙齿轮、横向间隙齿轮和齿条,所述齿条固设于底座上,所述纵向间隙齿轮、横向间隙齿轮分别与齿条相啮合,所述驱动电机通过减速机与纵向间隙齿轮传动连接。
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