[实用新型]一种晶棒开方上料夹持装置

权利要求书

1.一种晶棒开方上料夹持装置，包括底座，所述底座上设有工作台(19)，其特征在于，所述工作台(19)上设有：

支撑座(1)，其用于支撑晶棒(4)；

上料压紧组件(2)，其位于支撑座(1)上方，用于压紧位于支撑座(1)上的晶棒(4)的顶部；

驱动组件(5)，所述底座上设有导轨(6)，驱动组件(5)带动支撑座(1)、上料压紧组件(2)沿着导轨(6)滑动，实现上料；

所述底座上还设有对中组件(3)，其跨设于工作台(19)上方且与底座固连，用于夹持位于支撑座(1)上的晶棒(4)的侧面，实现对中操作。

2.根据权利要求1所述的晶棒开方上料夹持装置，其特征在于，所述上料压紧组件(2)包括支撑架(7)、上料气缸(8)和上料压板(9)，所述上料气缸(8)沿着竖直方向设置，其缸体端通过支撑架(7)与工作台(19)连接，其活塞端与上料压板(9)连接，所述上料压板(9)沿着晶棒(4)的长度方向设置。

3.根据权利要求2所述的晶棒开方上料夹持装置，其特征在于，所述上料压板(9)的下方设有上料压块(11)，且上料压块(11)设为V型结构，且V型结构的开口正对晶棒(4)。

4.根据权利要求3所述的晶棒开方上料夹持装置，其特征在于，所述支撑座(1)上方设有与上料压块(11)结构相同的支撑压块(15)。

5.根据权利要求2所述的晶棒开方上料夹持装置，其特征在于，所述支撑架(7)上沿着竖直方向设置有靠板(10)，用于与晶棒(4)的端面相抵。

6.根据权利要求1所述的晶棒开方上料夹持装置，其特征在于，所述对中组件(3)包括对中支架(12)、卡爪气缸(13)和对中靠板(14)，所述对中支架(12)沿着竖直方向设置，其底部与底座固连，所述卡爪气缸(13)沿着垂直于晶棒(4)长度方向设置，其缸体端与对中支架(12)固连，其活塞端与对中靠板(14)连接，所述对中靠板(14)沿着竖直方向设置。

7.根据权利要求6所述的晶棒开方上料夹持装置，其特征在于，所述卡爪气缸(13)和对中靠板(14)均设有对称的设有2个，且对中靠板(14)与晶棒(4)的切割面相贴。

8.根据权利要求1－7任一所述的晶棒开方上料夹持装置，其特征在于，所述对中组件(3)沿着晶棒(4)的长度方向至少设置1个。

9.根据权利要求8所述的晶棒开方上料夹持装置，其特征在于，所述驱动组件(5)包括驱动电机(16)、纵向间隙齿轮、横向间隙齿轮(17)和齿条(18)，所述齿条(18)固设于底座上，所述纵向间隙齿轮、横向间隙齿轮(17)分别与齿条(18)相啮合，所述驱动电机(16)通过减速机与纵向间隙齿轮传动连接。

10.根据权利要求9所述的晶棒开方上料夹持装置，其特征在于，所述纵向间隙齿轮通过固定板一(20)与工作台(19)连接，且固定板一(20)上设有纵向条形槽(22)，横向间隙齿轮(17)通过固定板二(21)与工作台(19)连接，且固定板二(21)上设有横向条形槽(23)，固定板一(20)、固定板二(21)与工作台(19)的相对位置可调。