[实用新型]自动导引运输车、机器人及其夹持装置

说明书

本实用新型提供了一种自动导引运输车、机器人及其夹持装置。夹持装置包括基座、设于基座上的滑动部、驱动部、第一夹持臂和第二夹持臂。基座能够与机器人的机械手传动连接。两个滑动部分别可滑动地设于基座上的两侧。两驱动部的驱动端分别与两滑动部对应连接。两个第一夹持臂分别与滑动部连接，两第一夹持部对称设置用于分别夹紧晶圆盒两侧，提高了夹持晶圆盒的稳定性。两个第二夹持臂分别与滑动部连接，两第二夹持部对称设置用于分别夹紧晶圆架两侧，提高了夹持晶圆盒的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及物料搬送设备技术领域，特别涉及一种自动导引运输车、机器人及其夹持装置。

背景技术

在半导体产业中，晶圆是制造各式电子芯片的基础。晶圆为呈圆形的高纯度硅晶片。通过光学和化学蚀刻的方法在晶圆上面进行电路和电子元器件的加工，最终形成半导体集成电路产品。

在晶圆的储存和搬运过程中，常使用专有的晶圆支架以放置晶圆。而且由于晶圆材质的特殊性，其无法长时间暴露在空气中，所以需将放置有晶圆的晶圆支架一起密封放入晶圆盒内。

晶圆盒和晶圆架平时放置在电子货架上。目前，需专门的工作人员手动地将晶圆盒和晶圆架从电子货架上取下或放回，随后再将取下的晶圆盒或晶圆架放置在移动小车上，由其被移动小车搬运到相应的工艺设备中。整个过程中，笨重的晶圆盒和晶圆架对于工作人员较为吃力，不仅会造成工作人员的工作效率低、劳动强度大的问题，而且存在取下或放回不稳定的风险，导致容易损坏晶圆盒和晶圆架。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种夹持装置，以解决现有技术中人工搬运时从电子货架取下或放回晶圆盒或晶圆架的不稳定和劳动强度大的问题。

本实用新型的目的在于还提供一种机器人，其具有上述的夹持装置。

本实用新型的目的在于还提供一种自动导引运输车，其具有上述的机器人。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种夹持装置，用于夹持晶圆盒和晶圆架，所述夹持装置包括：基座，其能够与机器人的机械手传动连接；两个滑动部，其分别可滑动地设于所述基座上的两侧；两个驱动部，其设于所述基座上，两所述驱动部的驱动端分别与两所述滑动部对应连接，以驱动两所述滑动部相对靠近或远离；两个第一夹持臂，每一所述第一夹持臂的一端与所述滑动部连接，其另一端具有第一夹持部，两所述第一夹持部对称设置用于分别夹紧所述晶圆盒两侧，两所述第一夹持部随着所述滑动部可相对靠近或远离，以调节两所述第一夹持部之间形成的用于夹持所述晶圆盒的夹持空间的大小；两个第二夹持臂，每一所述第二夹持臂的一端与所述滑动部连接，其另一端具有第二夹持部，两所述第二夹持部对称设置用于分别夹紧所述晶圆架两侧，两所述第二夹持部随着所述滑动部可相对靠近或远离，以调节两所述第二夹持部之间形成的用于夹持所述晶圆架的夹持空间的大小，且设于同一所述滑动部上的所述第二夹持臂与所述第一夹持臂之间具有间距。

根据本实用新型的一个实施例，所述基座上开设有滑槽；所述滑动部具有突出的滑轨，所述滑轨嵌合所述滑槽内以形成滑动配合。

根据本实用新型的一个实施例，所述滑槽具有两条；两条滑槽在所述基座的表面上间隔平行布置，所述滑槽与所述滑轨一一对应配合。

根据本实用新型的一个实施例，所述驱动部为驱动气缸；所述驱动气缸具有活塞杆，所述活塞杆的一端与所述驱动气缸的驱动端连接，另一端与所述滑动部连接以带动所述滑动部滑动，所述活塞杆的伸缩方向与所述滑动部的滑动方向一致。

根据本实用新型的一个实施例，所述滑动部具有贴近所述基座的背面和远离所述基座的正面；

所述第一夹持臂设于所述滑动部上的正面，且所述第一夹持臂相对于所述正面突出；所述第二夹持臂设于所述滑动部上的背面，且所述第二夹持臂相对于所述背面突出。