[实用新型]自动导引运输车、机器人及其夹持装置

权利要求书

1.一种夹持装置，其特征在于：用于夹持晶圆盒和晶圆架，所述夹持装置包括：

基座，其能够与机器人的机械手传动连接；

两个滑动部，其分别可滑动地设于所述基座上的两侧；

两个驱动部，其设于所述基座上，两所述驱动部的驱动端分别与两所述滑动部对应连接，以驱动两所述滑动部相对靠近或远离；

两个第一夹持臂，每一所述第一夹持臂的一端与所述滑动部连接，其另一端具有第一夹持部，两所述第一夹持部对称设置用于分别夹紧所述晶圆盒两侧，两所述第一夹持部随着所述滑动部可相对靠近或远离，以调节两所述第一夹持部之间形成的用于夹持所述晶圆盒的夹持空间的大小；

两个第二夹持臂，每一所述第二夹持臂的一端与所述滑动部连接，其另一端具有第二夹持部，两所述第二夹持部对称设置用于分别夹紧所述晶圆架两侧，两所述第二夹持部随着所述滑动部可相对靠近或远离，以调节两所述第二夹持部之间形成的用于夹持所述晶圆架的夹持空间的大小，且设于同一所述滑动部上的所述第二夹持臂与所述第一夹持臂之间具有间距。

2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：

所述基座上开设有滑槽；

所述滑动部具有突出的滑轨，所述滑轨嵌合所述滑槽内以形成滑动配合。

3.根据权利要求2所述的夹持装置，其特征在于：

所述滑槽具有两条；

两条滑槽在所述基座的表面上间隔平行布置，所述滑槽与所述滑轨一一对应配合。

4.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：

所述驱动部为驱动气缸；

所述驱动气缸具有活塞杆，所述活塞杆的一端与所述驱动气缸的驱动端连接，另一端与所述滑动部连接以带动所述滑动部滑动，所述活塞杆的伸缩方向与所述滑动部的滑动方向一致。

5.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：

所述滑动部具有贴近所述基座的背面和远离所述基座的正面；

所述第一夹持臂设于所述滑动部上的正面，且所述第一夹持臂相对于所述正面突出；

所述第二夹持臂设于所述滑动部上的背面，且所述第二夹持臂相对于所述背面突出。

6.根据权利要求5所述的夹持装置，其特征在于：

所述第一夹持臂具有连接臂，所述连接臂垂直连接于所述滑动部的所述正面上；

所述第一夹持部设于所述连接臂远离所述滑动部的端部。

7.根据权利要求6所述的夹持装置，其特征在于：

所述第一夹持部包括至少一个从所述连接臂上突出的突起；

所述突起用于卡入所述晶圆盒外壳上的凹槽。

8.根据权利要求7所述的夹持装置，其特征在于：

所述突起为两个，两个所述突起相对设置，两所述突起之间形成夹持槽；

所述夹持槽的形状与所述晶圆盒外表上的凸棱的轮廓相适配，所述夹持槽能够容纳并夹紧所述凸棱。

9.根据权利要求5所述的夹持装置，其特征在于：

所述第二夹持臂具有连接臂，所述连接臂包括：

竖向段，其贴合于所述滑动部的背面上；

水平段，其从所述竖向段端部折弯延伸出，所述水平段背离所述背面延伸，所述第二夹持部设于所述水平段远离所述背面的端部。

10.根据权利要求9所述的夹持装置，其特征在于：

所述第二夹持部上凹设有卡槽；

所述卡槽的形状与所述晶圆架上的凸起的轮廓适配，所述卡槽能够容纳并卡紧所述凸起。

11.根据权利要求1-10任一项所述的夹持装置，其特征在于：

所述夹持装置还包括卡勾；

所述卡勾设于所述第一夹持臂上，所述卡勾能够与所述晶圆盒的盒盖上的扣环适配卡合，以打开或者关闭所述盒盖。